基于納米壓痕測試的激光晶體光學加工性能研究

編號：CPJS05174

篇名：基于納米壓痕測試的激光晶體光學加工性能研究

作者：陳賢華[1,2] ;謝瑞清[2] ;侯晶[3] ;汪圣飛[3] ;張哲[2] ;趙世杰[2] ;廖德鋒[2]

關鍵詞：激光晶體 光學加工 納米壓痕 力學特性

機構： [1]長春理工大學,長春130022; [2]中國工程物理研究院激光聚變研究中心,綿陽621900; [3]哈爾濱工業(yè)大學機電工程學院,哈爾濱150001

摘要： 針對高功率固體激光器中使用的四類重要激光晶體（YAG、LBO、YCOB、KDP）元件，開展了晶體材料的光學加工性能研究�；�于納米壓痕測試實驗，研究了幾種激光晶體材料在激光器實際使用晶向角度下的的表面力學特性差異，獲得了載荷、彈性模量、壓痕硬度等參數(shù)與壓痕深度之間的變化規(guī)律；利用超景深顯微鏡及場發(fā)射掃描電鏡觀察了激光晶體表面的納米壓痕形貌，揭示了裂紋形貌隨壓力載荷的演變規(guī)律以及晶體材料力學各向異性現(xiàn)象。以熔石英材料為參照，從力學特性角度橫向對比了幾種激光晶體材料獲得超光滑表面的光學加工難易程度。