ZrO2-CuO復(fù)合納米粒子薄膜阻變特性研究

編號(hào)：CPJS05135

篇名：ZrO2-CuO復(fù)合納米粒子薄膜阻變特性研究

作者：錢昱 ;邵思佳 ;李建昌

關(guān)鍵詞：水熱法 ZrO2-CuO納米粒子 阻變特性 氧空位細(xì)絲

機(jī)構(gòu)： 東北大學(xué)機(jī)械工程與自動(dòng)化學(xué)院真空與流體工程研究中心,遼寧沈陽(yáng)110819

摘要： 利用水熱法在180℃下制備ZrO2-CuO復(fù)合納米粒子（ZrCu）,XRD測(cè)試表明隨CuO含量增加,樣品的結(jié)晶性變好。在ITO基片上旋涂制膜,通過(guò)GaIn微滴技術(shù)測(cè)試伏安特性,研究了復(fù)合比對(duì)ZrCu薄膜電學(xué)特性的影響。結(jié)果發(fā)現(xiàn),ZrCu有良好可重復(fù)的雙極阻變特性,隨CuO含量增加,閾值電壓降低,開(kāi)關(guān)比降低。ZrCu低阻態(tài)符合歐姆特性,高阻態(tài)為空間電荷限制導(dǎo)電機(jī)制,阻變機(jī)理為氧空位細(xì)絲的形成與斷裂。第一性原理計(jì)算結(jié)果與實(shí)驗(yàn)觀察一致。