納米氧化鎢氣敏傳感器研究進展

編號：SBJS00596

篇名：納米氧化鎢氣敏傳感器研究進展

作者：楊帆[1] ;尹桂林[1,2] ;葛美英[2] ;何丹農(nóng)[1,2]

關(guān)鍵詞：納米材料 氧化鎢 氣敏傳感器

機構(gòu)： [1]上海交通大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院,上海200240; [2]納米技術(shù)及應(yīng)用國家工程研究中心,上海200241

摘要： 在對各種有害氣體檢測的研究領(lǐng)域內(nèi),納米半導(dǎo)體金屬氧化物氣敏傳感器有著十分重要的地位。作為一種n型半導(dǎo)體金屬氧化物,氧化鎢因其獨有的結(jié)構(gòu)和性能特點,成為近年來氣敏材料的研究重點和熱點。本文簡單介紹氧化鎢系氣敏材料的氣敏響應(yīng)機理,總結(jié)近年來改良和提高納米氧化鎢材料氣敏性能的主要工藝和方向,最后指出其自身的不足及未來的研究發(fā)展方向。