氧化銦錫納米晶須的VLS自組裝生長研究

編號：CPJS04539

篇名：氧化銦錫納米晶須的VLS自組裝生長研究

作者：沈燕 ;徐現(xiàn)剛

關鍵詞：氧化銦錫 納米晶須 氣液固生長 電子束蒸發(fā)

機構： 山東大學晶體材料研究所,山東濟南250100

摘要： 氣液固（VLS）生長是一維納米晶材料生長最常見的方法。通過電子束加熱蒸發(fā)氧化銦錫薄膜,在缺氧狀態(tài)下生長出無序納米晶的表面形態(tài),粗糙度達到了幾十至上百納米。分析其生長機理,是氧化物源在電子束高溫下熔融分解金屬,遇冷凝結成金屬液滴,作為VLS生長的金屬催化劑使其結晶出納米晶須。