等離子體氣相凝聚技術制備銅納米團簇薄膜的沉積速率研究

編號：NMJS05698

篇名：等離子體氣相凝聚技術制備銅納米團簇薄膜的沉積速率研究

作者：黃江磊[1,2] ;羅江山[2] ;李喜波[2] ;王雅麗[2] ;張建波[2] ;易勇[1] ;唐永建[1,2]

關鍵詞：等離子體氣相凝聚技術 差分抽氣技術 銅納米團簇薄膜 沉積速率

機構： [1]西南科技大學極端條件物質特性實驗室,四川綿陽621010; [2]中國工程物理研究院激光聚變研究中心等離子體物理重點實驗室,四川綿陽621900

摘要： 采用等離子體氣相凝聚技術并結合差分抽氣技術產生銅納米團簇束流,然后在襯底上沉積銅納米團簇薄膜,研究了濺射電流、氬氣流量和結露區(qū)長度對其沉積速率的影響。利用X射線衍射儀和透射電子顯微鏡對薄膜微結構進行了表征。結果表明：保持其他參數不變的情況下,增加濺射電流和氬氣流量,銅納米團簇薄膜的沉積速率均呈現先增大后減小的趨勢,而結露區(qū)長度對沉積速率的影響無明顯規(guī)律,這主要歸因于銅納米團簇粒子的平均自由程變化。銅納米團簇薄膜主要由粒徑約為幾納米的團簇顆粒組成,其結晶程度較低。