采用造粒原料燃燒合成Si_3N_4粉體

編號：FTJS06528

篇名：采用造粒原料燃燒合成Si_3N_4粉體

作者：王福[1] ;楊建輝[2] ;李江濤[3]

關鍵詞：Si_3N_4 燃燒合成 造粒原料 孔隙率

機構： [1]中國科學院唐山高新技術研究與轉化中心,唐山063020; [2]北京國電龍源環(huán)保工程有限公司,北京100039; [3]中國科學院理化技術研究所,北京100190

摘要： 通過將Si/Si_3N_4原料造粒,采用燃燒合成工藝在較低氮氣壓力下（2.0 MPa）合成了Si_3N_4粉體。研究了原料造粒對原料孔隙率及燃燒合成反應過程的影響。實驗結果表明：原料造粒后燃燒合成通過兩步反應完成,通過調整DS/DL（造粒原料最小粒徑與最大粒徑的比值）可以控制原料坯體的孔隙率和燃燒合成溫度及速度,進而提高裝料量及氮化率。