溶膠凝膠制備高阻AZO和電阻率的測(cè)試

編號(hào)：CPJS03987

篇名：溶膠凝膠制備高阻AZO和電阻率的測(cè)試

作者：翟耘萱[1] ;張翼[1] ;于航[1]

關(guān)鍵詞：溶膠-凝膠 氧化鋅混合氧化鋁薄膜薄膜 微通道板導(dǎo)電層

機(jī)構(gòu)： [1]長(zhǎng)春理工大學(xué)理學(xué)院,吉林長(zhǎng)春130022

摘要： 氧化鋅混合氧化鋁薄膜是由導(dǎo)體的氧化鋅和絕緣體的氧化鋁充分混合而成的復(fù)合材料。隨著氧化鋅和氧化鋁的組成變化，氧化鋅混合氧化鋁薄膜的電阻率可以在10^-2Ωcm到10^16Ωcm變化。氧化鋅混合氧化鋁薄膜出現(xiàn)為微通道板打拿極導(dǎo)電層提供了一種新的材料選擇。以二水合乙酸鋅和六水合氯化鋁為前驅(qū)物，用溶膠-凝膠的方法制備四個(gè)組分的氧化鋅混合氧化鋁薄膜樣品。用原子力顯微鏡和伏安法測(cè)方塊電阻的方式對(duì)薄膜的表面形貌和電阻率表征。最后對(duì)測(cè)試的電阻數(shù)據(jù)進(jìn)行擬合，得到樣品鋁含量和樣品電阻率的關(guān)系曲線。