利用硅片線鋸屑合成氮氧化硅粉體研究

編號：FTJS05915

篇名：利用硅片線鋸屑合成氮氧化硅粉體研究

作者：尹傳強[1] ;李兵[1] ;魏秀琴[1] ;周浪[1]

關鍵詞：硅片線鋸屑 白炭黑 氮氧化硅 低溫亞穩(wěn)相

機構(gòu)： [1]南昌大學光伏研究院/材料科學與工程學院,南昌330031

摘要： 以回收提純硅片線鋸屑粉與氣相白炭黑為原料,合成出晶須狀氮氧化硅粉體。實驗研究了原料摩爾配比、保溫溫度、保溫時間等工藝參數(shù)對氮氧化合成產(chǎn)物的影響。結(jié)果表明,回收提純硅片線鋸屑粉與氣相白炭黑摩爾比為2.0∶1~2.6∶1、保溫溫度為1380℃、保溫時間為4 h條件下可獲得較為純凈的氮氧化硅粉體。產(chǎn)物中同時伴生一種類似于O1-Si Al ON結(jié)構(gòu)的氮氧化硅低溫亞穩(wěn)相（LM Si2N2O）,且該亞穩(wěn)相含量隨著原料摩爾配比的降低、溫度的升高、時間的延長逐漸降低。所形成的氮氧化硅呈晶須狀的原因與白炭黑的氣化揮發(fā)及隨后的氮氧化硅氣相沉積生長機制有關。