基于石墨烯用于微弱能量獲取的柔性微結(jié)構(gòu)研究

編號：NMJS05484

篇名：基于石墨烯用于微弱能量獲取的柔性微結(jié)構(gòu)研究

作者：婁利飛； 潘青彪； 吳志華；

關(guān)鍵詞：石墨烯； ZnO納米線； 自驅(qū)動； 微納系統(tǒng)；

機構(gòu)： 西安電子科技大學(xué)微電子學(xué)院；

摘要： 本文首次提出了一種基于石墨烯用于微弱能量獲取的柔性基板/石墨烯/ZnO納米線/石墨烯的柔性微結(jié)構(gòu).首先,從理論上進行了該新結(jié)構(gòu)的設(shè)計及其工作原理分析;其次,研究了該結(jié)構(gòu)制備過程中的關(guān)鍵工藝,并設(shè)計了該結(jié)構(gòu)的制備流程;最后,成功制備了該結(jié)構(gòu),并進行了相關(guān)測試.最終測試結(jié)果表明該結(jié)構(gòu)能夠成功輸出數(shù)百毫伏的電壓.這些理論和實驗上的研究為自驅(qū)動微納系統(tǒng)提供了研究基礎(chǔ),同時也對集成微納系統(tǒng)的實用化發(fā)展具有一定的研究意義.