一種懸浮石墨烯壓力傳感器的制造與建模

編號：NMJS05458

篇名：一種懸浮石墨烯壓力傳感器的制造與建模

作者：蔣圣偉； 師帥； 袁嬌嬌； 方靖； 徐春林； 汪學(xué)方；

關(guān)鍵詞：石墨烯； 壓力傳感器； 拉曼光譜； 膨脹試驗； 壓力靈敏度；

機(jī)構(gòu)： 華中科技大學(xué)機(jī)械科學(xué)與工程學(xué)院微系統(tǒng)中心；

摘要： 提出了一種適用于納機(jī)電系統(tǒng)(NEMS)的懸浮石墨烯壓力傳感器,并結(jié)合傳統(tǒng)微機(jī)械加工工藝提出了壓力傳感器的制造過程。利用拉曼光譜表征了機(jī)械剝離法得到的不同厚度的石墨烯薄膜,驗證了石墨烯"G"峰與"2D"峰的強(qiáng)度與薄膜厚度有關(guān)�；�于薄膜膨脹試驗方法,給出了懸浮于矩形、方形與圓形3種空腔的石墨烯薄膜的最大變形與壓差的關(guān)系,并分別計算了3種形狀下薄膜的壓力靈敏度,可知矩形情況下單層石墨烯薄膜的壓力靈敏度最大,當(dāng)矩形寬度、方形邊長或圓形直徑越大,薄膜厚度越小時,壓力靈敏度越高,計算表明:這種壓力傳感器具有高靈敏度。