化學(xué)氣相沉積法制備大尺寸單晶石墨烯的工藝參數(shù)研究

編號(hào)：NMJS05376

篇名：化學(xué)氣相沉積法制備大尺寸單晶石墨烯的工藝參數(shù)研究

作者：韓林芷； 趙占霞； 馬忠權(quán)；

關(guān)鍵詞：石墨烯； 化學(xué)氣相沉積法； 工藝參數(shù)； 大尺寸；

機(jī)構(gòu)： 上海大學(xué)物理系索朗聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室；

摘要： 石墨烯作為一種二維sp2雜化碳的同素異形體,具有優(yōu)良的電學(xué)、光學(xué)、熱學(xué)及力學(xué)等性質(zhì).產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用石墨烯要求其具有大的尺寸且性質(zhì)均一.化學(xué)氣相沉積法(CVD)的出現(xiàn)為制備大尺寸、高質(zhì)量的石墨烯提供了可能.本文結(jié)合近幾年CVD法制備石墨烯的研究進(jìn)展,綜述了影響大尺寸、單晶石墨烯制備的工藝參數(shù),包括襯底選擇與預(yù)處理、碳源與輔助氣體流量調(diào)控、腔體溫度和壓力控制、沉積時(shí)間以及降溫速率設(shè)定等.最后展望了制備大尺寸單晶石墨烯的研究方向.