鉬粉形貌對濺射靶材微觀組織的影響

編號：CPJS02946

篇名：鉬粉形貌對濺射靶材微觀組織的影響

作者：李晶； 安耿； 劉仁智；

關(guān)鍵詞：鉬粉； 濺射靶材； 微觀組織；

機(jī)構(gòu)： 金堆城鉬業(yè)股份有限公司技術(shù)中心；

摘要： 選用兩種不同形貌的鉬粉,經(jīng)過壓制、燒結(jié)、軋制、退火得到靶材產(chǎn)品,通過對金相組織的分析,得出顆粒大小均勻、無團(tuán)聚的鉬粉制備出的靶材組織較好,且大變形量有利于得到細(xì)小的組織結(jié)構(gòu)。