Ni/Zr-Co-Re堆棧層薄膜吸氣劑的吸氣性能及Ni作用機(jī)理研究

編號：FTJS04082

篇名：Ni/Zr-Co-Re堆棧層薄膜吸氣劑的吸氣性能及Ni作用機(jī)理研究

作者：田士法； 毛昌輝； 張心強(qiáng)； 朱君； 崔航；

關(guān)鍵詞：吸氣劑； Ni保護(hù)層； 薄膜； 吸氣性能；

機(jī)構(gòu)： 北京有色金屬研究總院先進(jìn)電子材料研究所；

摘要： 采用磁控濺射的方法制備了帶有Ni保護(hù)層和Zr-Co-Re(Re代表稀土元素)主體層的堆棧層薄膜吸氣劑。通過X射線光電子能譜儀(XPS)分析了薄膜吸氣劑內(nèi)部O元素的含量分布,研究了薄膜吸氣劑中Ni層的防氧化作用和機(jī)理。研究表明:(1)Ni/Zr-CoRe堆棧層薄膜吸氣劑在160℃保溫3h的條件下可以有效激活,并具有高于Zr-Co-Ni單層薄膜吸氣劑的吸氣性能;(2)Ni保護(hù)層降低了吸氣劑的被氧化程度,促進(jìn)了表面吸附的H2分子的解離和擴(kuò)散。