飛秒四光束干涉技術(shù)加工石墨烯納米網(wǎng)

編號：NMJS04895

篇名：飛秒四光束干涉技術(shù)加工石墨烯納米網(wǎng)

作者：李艷； 陳輝； 代克杰

關(guān)鍵詞：石墨烯； 納米網(wǎng)； 飛秒激光； 四光束干涉； 微納加工；

機構(gòu)： 平頂山學(xué)院電氣信息工程學(xué)院 高壓智能開關(guān)工程技術(shù)研究中心；

摘要： 由于石墨烯的特殊半導(dǎo)體性質(zhì),實現(xiàn)其在電子器件中實際應(yīng)用的關(guān)鍵是對石墨烯層進行微納結(jié)構(gòu)處理。簡單介紹了飛秒四光束干涉技術(shù)應(yīng)用于石墨烯微納加工的優(yōu)勢。對實現(xiàn)飛秒四光束干涉的兩種實驗方法進行了介紹并比較。然后選用改進的衍射分束方法對石墨烯進行加工,得到規(guī)則的二維納米網(wǎng)結(jié)構(gòu),網(wǎng)線的最小寬度可達600 nm左右。與Matlab理論模擬的四光束干涉花樣進行比較,通過調(diào)整干涉光束的能量,使得加工的結(jié)構(gòu)更加規(guī)則,和理論花樣十分吻合。該方法將對石墨烯微納結(jié)構(gòu)處理及其在集成微電子器件中的應(yīng)用帶來新的思路。