鋯鈦酸鉛薄膜的生長(zhǎng)與表征

編號(hào)：FTJS04019

篇名：鋯鈦酸鉛薄膜的生長(zhǎng)與表征

作者：張翊； 潘峰； 包達(dá)群； 王建艷； 郭航；

關(guān)鍵詞：鋯鈦酸鉛薄膜； 熱處理； 退火； 鐵電特性； 溶膠凝膠法；

機(jī)構(gòu)： 廈門大學(xué)薩本棟微米納米科學(xué)技術(shù)研究院； 廈門大學(xué)物理與機(jī)電工程學(xué)院；

摘要： 研究了如何利用溶膠凝膠法制備鋯鈦酸鉛(Pb(Zrx,Ti1-x)O3,PZT)薄膜,并對(duì)該薄膜的進(jìn)行了表征測(cè)試。根據(jù)分子式設(shè)計(jì)了溶液的成分及配比,配制溶液后旋涂于鈦(Ti)及鉑/鈦(Pt/Ti)基底上。利用X射線衍射儀(XRD)和原子力顯微鏡(AFM)對(duì)不同熱處理溫度和不同退火溫度的PZT薄膜的形貌、成分進(jìn)行了表征測(cè)試。在此基礎(chǔ)上,采用微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)工藝,開(kāi)發(fā)了可用于測(cè)試PZT薄膜材料特性的工藝流程與測(cè)試樣品。然后,利用標(biāo)準(zhǔn)鐵電測(cè)試儀對(duì)不同熱處理溫度和不同退火溫度的PZT薄膜的極化強(qiáng)度進(jìn)行了鐵電特性測(cè)試。結(jié)果表明,在400℃進(jìn)行熱處理,650℃進(jìn)行退火的條件下制備出的PZT薄膜其成分和形貌比較好,鐵電特性較優(yōu),能夠應(yīng)用于MEMS器件與納米器件的制造中。