氧化鎳薄膜阻變特性研究進展

編號：CPJS01925

篇名：氧化鎳薄膜阻變特性研究進展

作者：李建昌； 王玉磊； 侯雪艷； 徐彬； 巴德純；

關(guān)鍵詞：氧化鎳薄膜； 阻變特性； 開關(guān)機理； 器件結(jié)構(gòu)； 導(dǎo)電細絲；

機構(gòu)： 東北大學(xué)機械工程與自動化學(xué)院 真空與流體工程研究中心；

摘要： 氧化鎳薄膜因非揮發(fā)性、低功耗、開關(guān)重復(fù)性好及阻值窗口大等優(yōu)勢而成為廣泛研究的阻變材料之一。本文從器件結(jié)構(gòu)、阻變機理及影響因素等方面,綜述了氧化鎳薄膜阻變特性研究進展。結(jié)果表明:氧化鎳薄膜阻變機理主要為金屬細絲或空位細絲,但有關(guān)細絲形成條件仍無定論;引入PN結(jié)的夾層薄膜結(jié)構(gòu)因形成界面缺陷可使開關(guān)比提高三個數(shù)量級到105;高價元素替位摻雜致薄膜內(nèi)Ni0濃度增大而降低其阻變離散性;薄膜厚度及退火溫度與時間可明顯影響其阻變閾值電壓。目前有關(guān)氧化鎳薄膜阻變特性研究較多,下一步可將小尺度器件、低功耗及高密度集成納米晶阻變特性作為研究方向,深入討論其阻變機理。