SrTiO_3薄膜的制備及其性能表征

編號：NMJS04638

篇名：SrTiO_3薄膜的制備及其性能表征

作者：常亮亮；

關(guān)鍵詞：SrTiO3薄膜； 溶膠-凝膠法； 介電常數(shù)；

機構(gòu)： SrTiO3薄膜； 溶膠-凝膠法； 介電常數(shù)；

摘要： 以Sr(OOCCH3)2·H2O,Ti(OC4H9)4為原料,用溶膠-凝膠工藝成功地進行了STO薄膜的制備,溶膠薄膜經(jīng)過575℃-725℃/60 min退火形成立方鈣鈦礦結(jié)構(gòu)。用XRD、SEM等進行了結(jié)構(gòu)和形貌表征,證明了該薄膜是納米晶體結(jié)構(gòu),制定了SrTiO3薄膜的最佳退火工藝。STO薄膜的介電特性分析:在100 kHz下,室溫時,STO薄膜的介電常數(shù)為475而介電損耗為0.050。