激光偏振干涉納米定位系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與實(shí)驗(yàn)研究

編號：NMJS04622

篇名：激光偏振干涉納米定位系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與實(shí)驗(yàn)研究

作者：許素安； 錢飛； 謝敏； 黃艷巖； 富雅瓊； 陳樂； 孫堅(jiān)

關(guān)鍵詞：偏振干涉； 定位控制； 實(shí)驗(yàn)研究； 誤差分析

機(jī)構(gòu)： 中國計(jì)量學(xué)院機(jī)電學(xué)院

摘要： 為適應(yīng)工業(yè)發(fā)展和計(jì)量界對精密定位提出的越來越高的要求,提出了基于偏振激光干涉技術(shù)的納米定位方法。在該干涉測長系統(tǒng)中,用偏振計(jì)取代傳統(tǒng)單頻激光干涉儀的光電傳感器并配置偏振分光元件、起偏鏡等,可將干涉儀出射光的干涉條紋相位細(xì)分為36 000份,使用波長為633 nm的激光源,可將理論測量分辨率提高到10 pm。將完成的偏振干涉測長系統(tǒng)與商用SIOS干涉儀的實(shí)驗(yàn)測量結(jié)果做了比對。對完成的實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)的各誤差源做了實(shí)驗(yàn)研究,得到量化值。經(jīng)不確定度評估計(jì)算,在標(biāo)準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室環(huán)境條件下,對于微米級行程的位移,其位置測量不確定度小于1.4 nm。該方法可應(yīng)用于納米定位的各個領(lǐng)域。