ZrCN/VN納米結(jié)構(gòu)多層膜的微結(jié)構(gòu)、力學(xué)性能及摩擦性能研究

編號(hào)：NMJS04103

篇名：ZrCN/VN納米結(jié)構(gòu)多層膜的微結(jié)構(gòu)、力學(xué)性能及摩擦性能研究

作者：馬冰洋； 喻利花； 曹峻； 許俊華；

關(guān)鍵詞：ZrCN/VN納米結(jié)構(gòu)多層膜； 微結(jié)構(gòu)； 力學(xué)性能； 摩擦性能；

機(jī)構(gòu)： 江蘇科技大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院；

摘要： 通過非平衡磁控濺射的方法制備了不同調(diào)制比的ZrCN/VN納米結(jié)構(gòu)多層膜,采用X射線衍射、納米壓痕儀和高溫摩擦磨損儀等對(duì)薄膜的微結(jié)構(gòu)、力學(xué)性能及摩擦性能進(jìn)行了研究。結(jié)果表明,在ZrCN/VN多層膜中,改變調(diào)制比,多層膜始終呈現(xiàn)fcc結(jié)構(gòu),并且沿(111)面擇優(yōu)生長(zhǎng),當(dāng)VN調(diào)制層厚度為0.2 nm時(shí)ZrCN/VN多層膜的硬度達(dá)到最大值,為34.5 GPa。常溫摩擦系數(shù)隨VN層厚度的增加先增加后減小,高溫摩擦系數(shù)逐漸降低,Magnéli相V2O5的生成是摩擦系數(shù)降低的主要原因。