原子層沉積方法制備核殼型納米材料研究

編號(hào)：NMJS03939

篇名：原子層沉積方法制備核殼型納米材料研究

作者：李勇； 李惠琪； 夏洋； 劉邦武；

關(guān)鍵詞：原子層沉積； 核-殼型納米材料； 碳黑納米顆粒；

機(jī)構(gòu)： 山東科技大學(xué),材料科學(xué)與工程學(xué)院； 中國科學(xué)院微電子器件與集成技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室；

摘要： 采用原子層沉積方法在碳黑納米顆粒表面分別沉積Al2O3,ZnO,TiO2和Pt,成功制備出核-殼型納米材料.通過高分辨率透射電子顯微鏡、X射線光電子能譜儀、能譜儀對(duì)材料的表面形貌、晶體結(jié)構(gòu)、薄膜成分進(jìn)行了表征和分析.結(jié)果表明,原子層沉積方法是制備核殼型納米材料的理想方法.此外,還分析了采用原子層沉積方法沉積不同材料,所生長的薄膜材料有單晶、多晶、非晶等多種存在形式的形成原因.