熱處理溫度對納米TiN涂層組織和性能的影響

編號：NMJS03762

篇名：熱處理溫度對納米TiN涂層組織和性能的影響

作者：董艷春； 閻殿然； 張建新； 楊勇； 何繼寧； 陳學廣；

關鍵詞：熱處理； TiN； 納米涂層； 顯微組織；

機構： 河北工業(yè)大學河北省新型功能材料重點實驗室；

摘要： 為了提高反應等離子噴涂納米TiN涂層的致密性、消除涂層內(nèi)的微觀缺陷,在大氣、氬氣氛和真空中對其進行了熱處理。用XRD、SEM、TEM分析了納米TiN涂層熱處理后相組成及組織結構的變化,測試了處理后涂層的結合強度和孔隙率。結果表明:納米TiN涂層在大氣和氬氣氛中,于600℃開始發(fā)生分解和氧化;真空環(huán)境下加熱,涂層相組成不發(fā)生變化。在大氣中600℃加熱處理后,TiN涂層中微裂紋愈合,孔隙率降到原來的70%,結合強度基本不變。大氣中1000℃熱處理后,晶粒尺寸仍為100～200 nm。