Stober法制備二氧化硅薄膜反應(yīng)動力學(xué)

編號：FTJS03643

篇名：Stober法制備二氧化硅薄膜反應(yīng)動力學(xué)

作者：商孟瑩； 蔣曉東； 劉淼； 羅炫； 唐永建； 曹林洪

關(guān)鍵詞：溶膠-凝膠； 反應(yīng)動力學(xué)； 單分散二氧化硅； 轉(zhuǎn)化率； 反應(yīng)時間

機構(gòu)： 西南科技大學(xué)四川省非金屬復(fù)合與功能材料重點實驗室-省部共建國家重點實驗室培育基地； 西南科技大學(xué)極端條件物質(zhì)特性實驗室； 中國工程物理研究院激光聚變研究中心

摘要： 通過研究正硅酸乙酯(TEOS)水解的反應(yīng)動力學(xué),推導(dǎo)出St�謆er法制備二氧化硅溶膠體系中反應(yīng)時間與TEOS轉(zhuǎn)化率關(guān)系的動力學(xué)公式。分析確定了合適的轉(zhuǎn)化率,進而用于計算二氧化硅溶膠的理論最佳反應(yīng)時間。同時,以正硅酸乙酯為硅源,采用溶膠凝膠法在氨水催化作用下制備了不同配比的二氧化硅溶膠,考察了氨和水的濃度對反應(yīng)時間的影響,結(jié)果表明,兩者濃度增大可以有效減少反應(yīng)時間。通過成膜性檢測確定制備過程中的最佳反應(yīng)時間,并與理論計算得到的最佳反應(yīng)時間進行比較,結(jié)果表明,兩者一致,誤差控制在5%以內(nèi),說明該動力學(xué)公式具有很好的適用性。