調(diào)幅W(Mo)/Cu納米多層膜He~+離子輻照響應(yīng)行為

編號：NMJS03424

篇名：調(diào)幅W(Mo)/Cu納米多層膜He~+離子輻照響應(yīng)行為

作者：植超虎； 劉波； 任��； 楊斌； 林黎蔚；

關(guān)鍵詞：W(Mo)/Cu納米多層膜； He+輻照； He團(tuán)簇/泡； 相轉(zhuǎn)變；

機構(gòu)： 四川大學(xué)原子核科學(xué)技術(shù)研究所； 教育部輻射物理及技術(shù)重點實驗室

摘要： 用磁控濺射技術(shù)制備不同調(diào)幅波長(L)的W(Mo)/Cu納米多層膜,所制膜系在60keV氦離子(He+)輻照條件下注入不同劑量:0,1×1017He+/cm2,5×1017He+/cm2.用X射線衍射儀(XRD)和高分辨透射電子顯微鏡(TEM)表征W(Mo)/Cu納米多層膜輻照前后微觀結(jié)構(gòu).研究結(jié)果表明:1)He+離子轟擊引起溫升效應(yīng)是導(dǎo)致沉積態(tài)亞穩(wěn)相β-W轉(zhuǎn)變成穩(wěn)態(tài)α-W相的主因,而與調(diào)幅波長無明確關(guān)聯(lián);2)納米多層結(jié)構(gòu)中W(Mo)和Cu膜顯現(xiàn)出的輻照耐受性與調(diào)幅波長相關(guān),調(diào)幅波長越小,抗He+的輻照性能越強;3)在5×1017He+/cm2注入條件下,觀察到He團(tuán)簇/泡在納米結(jié)構(gòu)W(Mo)和Cu膜中的積聚行為存在明顯差異:在W(Mo)膜中He團(tuán)簇/泡的分布與晶粒取向相關(guān),He團(tuán)簇/泡傾向于沿W(211)晶面分布;而Cu膜非晶化且He團(tuán)簇/泡在其體內(nèi)呈均勻分布。