納米SiO2拋光液的制備及在藍(lán)寶石拋光中的應(yīng)用

編號(hào)：NMJS03407

篇名：納米SiO2拋光液的制備及在藍(lán)寶石拋光中的應(yīng)用

作者：張澤芳； 侯蕾； 閆未霞； 劉衛(wèi)麗； 宋志棠

關(guān)鍵詞：藍(lán)寶石； 氧化硅； 拋光； LED； 拋光液

機(jī)構(gòu)： 中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所,信息功能材料國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室； 上海新安納電子科技有限公司

摘要： 制備一種納米氧化硅拋光液,采用掃描電子顯微鏡、激光粒度儀、顆粒計(jì)數(shù)儀等對(duì)其物性參數(shù)進(jìn)行表征;使用該拋光液對(duì)LED藍(lán)寶石襯底進(jìn)行機(jī)械化學(xué)拋光,采用輪廓儀、表面缺陷檢測(cè)設(shè)備、原子力顯微鏡等對(duì)拋光后的藍(lán)寶石襯底表面進(jìn)行表征。結(jié)果表明,制備的納米氧化硅拋光液對(duì)LED藍(lán)寶石襯底具有優(yōu)異的拋光性能,拋光后的表面無(wú)劃傷、無(wú)腐蝕坑,且粗糙度小于0.2 nm