軟膜紫外光固化納米壓印制備等離子體納米孔結(jié)構(gòu)的工藝優(yōu)化

編號：NMJS03350

篇名：軟膜紫外光固化納米壓印制備等離子體納米孔結(jié)構(gòu)的工藝優(yōu)化

作者：陳靜； 劉正堂； Anne-Marie Haghiri-Gosnet；

關(guān)鍵詞：軟膜紫外光固化納米壓��； 等離子體納米孔陣列； 生物傳感；

機構(gòu)： 西北工業(yè)大學材料科學與工程學院； 法國國家科研中心光子與納米結(jié)構(gòu)實驗室；

摘要： 利用軟膜紫外光固化納米壓印技術(shù)和反應(yīng)離子刻蝕技術(shù)在玻璃襯底上制備了等離子體納米孔陣列。為了實現(xiàn)高分辨低成本軟膜紫外光固化納米壓印技術(shù)在生物傳感領(lǐng)域的應(yīng)用和產(chǎn)業(yè)化,必須對壓印的一些具體工藝參數(shù)如壓印壓力進行優(yōu)化。在這項工作中,壓印壓力最小化到10 psi,結(jié)果表明這一數(shù)值足以保證圖案的精確復制以及圖案轉(zhuǎn)移的保真度。最后,利用反應(yīng)離子刻蝕的方法去除殘余光膠,并用剝離的方法進行圖案轉(zhuǎn)移,成功地制備出了均勻性良好的金納米孔陣列。為了證明金屬納米周期結(jié)構(gòu)在生物傳感上的應(yīng)用,使該陣列表面吸附蛋白質(zhì)分子,結(jié)果觀察到明顯的透射峰偏移。