基于陶瓷微熱板的高溫氣體傳感器研究

編號(hào)：FTJS03346

篇名：基于陶瓷微熱板的高溫氣體傳感器研究

作者：薛嚴(yán)冰； 唐禎安；

關(guān)鍵詞：陶瓷微熱板； 激光微加工； 氣體傳感器； 靈敏度；

機(jī)構(gòu)： 大連交通大學(xué)電氣信息學(xué)院； 大連理工大學(xué)電子科學(xué)與技術(shù)學(xué)院；

摘要： 針對(duì)目前商用陶瓷氣體傳感器功耗大、封裝困難等缺點(diǎn),提出一種陶瓷微加工微熱板式氣體傳感器的結(jié)構(gòu)和無(wú)內(nèi)引線封裝的方式。通過(guò)光刻剝離的方法,在氧化鋁陶瓷基底上制作出Pt微加熱器及接觸電極。采用激光微細(xì)加工技術(shù),制作出不同結(jié)構(gòu)參數(shù)的陶瓷微熱板器件。從溫度同加熱功率的關(guān)系、熱響應(yīng)時(shí)間和微加熱器穩(wěn)定性等方面對(duì)微熱板進(jìn)行了測(cè)試和評(píng)價(jià)。結(jié)果表明,陶瓷微熱板具有較低功耗和高溫工作的優(yōu)勢(shì),可穩(wěn)定工作的溫度達(dá)到600℃。作為熱板的高溫應(yīng)用之一,研制了CH4氣體傳感器,在500℃的工作條件下,對(duì)CH4氣有很好響應(yīng)靈敏度,且對(duì)CO干擾氣體基本無(wú)響應(yīng)。