基于相控外差干涉技術(shù)的納米定位方法的研究

編號：NMJS03261

篇名：基于相控外差干涉技術(shù)的納米定位方法的研究

作者：許素安； 李東升； Chassagne Luc； Topcu Suat；

關(guān)鍵詞：納米定位； 相位控制； 外差干涉儀；

機(jī)構(gòu)： 中國計(jì)量學(xué)院機(jī)電工程學(xué)院； 中國計(jì)量學(xué)院計(jì)量測試工程學(xué)院； LISV,University of Versailles Saint-Quentin,Versailles cedex；

摘要： 針對工業(yè)領(lǐng)域和計(jì)量界對定位精度要求的提高,提出了一種基于邁克爾遜干涉儀反向特性的定位控制方法。該方法采用相位鎖定控制和外差干涉技術(shù)來完成位置測量和控制。在嚴(yán)格控制實(shí)驗(yàn)環(huán)境條件下,得到了步距值為5 nm的雙向步進(jìn)位移。步距值的不確定度為8×10-9 nm,位移重復(fù)性誤差小于1 nm。該定位方法的測量尺寸可直接溯源至長度標(biāo)準(zhǔn),并且采用光電步進(jìn)相移法可克服壓電陶瓷的非線性和蠕變的機(jī)械缺陷。該方法在系統(tǒng)環(huán)境控制條件下適用于毫米行程位移,可應(yīng)用于納米計(jì)量和超精密加工等領(lǐng)域。