碳納米管及其摻雜氧化物半導(dǎo)體氣敏傳感器

編號(hào)：NMJS03181

篇名：碳納米管及其摻雜氧化物半導(dǎo)體氣敏傳感器

作者：林毓韜； 徐濤； 柳清菊；

關(guān)鍵詞：碳納米管； 氧化物半導(dǎo)體； 摻雜； 氣敏傳感器；

機(jī)構(gòu)： 云南大學(xué)云南省高校納米材料與技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室；

摘要： 碳納米管氣敏傳感器以其工作溫度低和最低檢出限較低等優(yōu)點(diǎn)而備受關(guān)注,而碳納米管摻雜氧化物半導(dǎo)體氣敏傳感器兼?zhèn)淞搜趸�物半�?dǎo)體氣敏傳感器和碳納米管氣敏傳感器二者的優(yōu)點(diǎn),具有靈敏度較高、最低檢出限低和工作溫度低等特性。綜述了這兩類傳感器的研究進(jìn)展,介紹了其氣敏機(jī)理,并對(duì)相應(yīng)存在的問題及今后的發(fā)展趨勢(shì)進(jìn)行了概述。