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一、概述此套系統(tǒng)H-CVD-1200S前端配有可加熱到0-1000℃的蒸發(fā)器，輔助固體源蒸發(fā)，后端為雙溫區(qū)硫化爐，溫度控制精確，操作簡便。左端配有法蘭支撐架可將預(yù)熱器和硫化爐分開使用。右端可配氣氛微調(diào)裝置，可以準(zhǔn)確的反應(yīng)腔體內(nèi)部的氣體壓力，帶刻度的調(diào)節(jié)閥對于做低壓CVD非常實用，重復(fù)性好；真空機組裝有真空粉塵過濾器以保護機械式真空泵不被硫粉塵損壞。整套系統(tǒng)可在1200℃以下的工藝溫度穩(wěn)定氣相沉積二

• 品牌: 翰軍
• 型號: 硫化物CVD系統(tǒng)（分體式）
• 價格：電議
• 電話: 400-810-0069轉(zhuǎn)5761