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ST2263型雙電測數(shù)字式四探針測試儀

二、概述

     ST2263型雙電測數(shù)字式四探針測試儀是運(yùn)用直線或方形四探針雙位測-改進(jìn)形范德堡測量方法測試電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器。該儀器設(shè)計符合單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。利用電流探針、電壓探針的變換，進(jìn)行兩次電測量，對數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測分析，自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對測量結(jié)果的影響，它與單電測直線或方形四探針相比，大大提高正確度，特別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。

     儀器成套組成：由主機(jī)、選配的四探針探頭、測試臺以及PC軟件等部分組成。

     主機(jī)主要由精密恒流源、高分辨率ADC、嵌入式單片機(jī)系統(tǒng)組成，USB通訊接口。儀器主機(jī)所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)字化鍵盤和數(shù)碼開關(guān)輸入；具有零位、滿度自校功能；測試功能可自動/手動方式；儀器操作可由配套軟件在PC機(jī)上操作完成，也可脫P(yáng)C機(jī)由四探針儀器面板上獨(dú)立操作完成。測試結(jié)果數(shù)據(jù)由主機(jī)數(shù)碼管直接顯示，也可連機(jī)由軟件界面同步顯示、分析、保存和打?。?/span>

     探頭選配：根據(jù)不同材料特性需要，探頭可有多款選配。有高耐磨碳化鎢探針探頭，以測試硅類半導(dǎo)體、金屬、導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻；也有球形鍍金銅合金探針探頭，可測柔性材料導(dǎo)電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導(dǎo)電膜（ITO膜）或納米涂層等半導(dǎo)體材料的電阻率/方阻。換上四端子測試夾具，還可對電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻進(jìn)行測量。

     測試臺選配：一般四探針法測試電阻率/方阻配SZT-A或SZT-B或SZT-C或SZT-F型測試臺。

     儀器具有測量精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、智能化程度高、測量簡便、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便等特點(diǎn)。

     儀器適用于半導(dǎo)體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對導(dǎo)體、半導(dǎo)體、類半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測試，特別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。

三、基本技術(shù)參數(shù)

3.1  測量范圍

    電阻率：1×10^-4～2×10⁵ Ω-cm，分辨率：1×10^-5～1×10² Ω-cm

    方  阻：5×10^-4～2×10⁵ Ω/□，分辨率：5×10^-5～1×10² Ω/□

    電  阻：1×10^-5～2×10⁵ Ω   ，分辨率：1×10^-6～1×10² Ω

3.2  材料尺寸(由選配測試臺決定和測試方式?jīng)Q定)

    直    徑：SZT-A圓測試臺直接測試方式 Φ15～130mm，手持方式不限

    SZT-B/C/F方測試臺直接測試方式180mm×180mm，手持方式不限.

    長(高)度：測試臺直接測試方式 H≤100mm,    手持方式不限.

    測量方位: 軸向、徑向均可

3.3.  4-1/2 位數(shù)字電壓表：

    (1)量程： 20.00mV～2000mV

    (2)誤差：±0.1%讀數(shù)±2 字

3.4  數(shù)控恒流源

   (1)量程：0.1μA，1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100mA，1A

   (2)誤差：±0.1%讀數(shù)±2 字

3.5  四探針探頭（選配其一或加配全部）

   (1)碳化鎢探針：Φ0.5mm，直線探針間距1.0mm，探針壓力: 0～2kg 可調(diào)

   (2)薄膜方阻探針：Φ0.7mm，直線或方形探針間距2.0mm，探針壓力: 0～0.6kg 可調(diào)

3.6 電源

   輸入: AC 220V±10% ,50Hz  功        耗：<20W

3.7 外形尺寸：

   主機(jī)  220mm（長）×245 mm（寬）×100mm（高）

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