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在半導(dǎo)體行業(yè)芯片的生產(chǎn)過程中，環(huán)境的潔凈程度直接關(guān)乎產(chǎn)品的良品率?？諝庵械姆肿游廴疚铮ˋMC）是半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中最重要的化學(xué)污染之一，其中酸性物質(zhì)（MA)、堿性物質(zhì)(MB）是AMC污染物的重要組成部分，直接影響產(chǎn)品質(zhì)量。

潔凈室AMC中酸堿性污染物的監(jiān)測主要是通過離子色譜分析儀，結(jié)合人工采樣、超純水吸收法等前處理過程。此監(jiān)測分析過程繁瑣低效，并可能引入人工污染的風(fēng)險，導(dǎo)致監(jiān)測數(shù)據(jù)結(jié)果偏差。

FAAS 8000ICS在線離子色譜分析系統(tǒng) 應(yīng)用于半導(dǎo)體廠區(qū)氣態(tài)分子污染物（AMC）中酸性物質(zhì)(MA)、堿性物質(zhì)（MB）污染物的在線監(jiān)測系統(tǒng)。系統(tǒng)采用撞擊式氣體吸收技術(shù)結(jié)合離子色譜分析方法，實現(xiàn)了多點采樣、氣體自動吸收富集、在線質(zhì)量控制等全自動在線監(jiān)測功能，解決了潔凈室AMC監(jiān)測過程中人員投入大、數(shù)據(jù)監(jiān)測頻率低、數(shù)據(jù)反饋不及時等問題。

性能特點

自控程度高

FAAS 8000ICS 實現(xiàn)了自動遠(yuǎn)距離采樣、自動富集吸收、 自動質(zhì)量控制、自動分析、數(shù)據(jù)自動上傳全流程自動化。避免人工誤差引入，數(shù)據(jù)準(zhǔn)確可靠。

檢測能力強(qiáng)

大體積進(jìn)樣濃縮，大幅提高系統(tǒng)檢測能力，檢出限可達(dá)亞ppt級，縮短系統(tǒng)運行周期。

監(jiān)測范圍廣

單套系統(tǒng)最多可配置32個點位的樣品采集；

系統(tǒng)通過真空泵遠(yuǎn)距離采樣，可覆蓋300m范圍內(nèi)樣品的在線監(jiān)測。

系統(tǒng)本底低

系統(tǒng)管路及閥組采用潔凈的聚四氟乙烯材料設(shè)計，滿足SEMI F57中相關(guān)析出雜質(zhì)的低本底控制要求。

吸收效率高

在線雙吸收模塊設(shè)計，提高樣品吸收效率，縮短系統(tǒng)運行周期。

應(yīng)用領(lǐng)域

FAAS 8000ICS在線離子色譜分析系統(tǒng)主要應(yīng)用于潔凈室環(huán)境空氣中水溶性酸堿性污染物的在線監(jiān)測，可擴(kuò)展至大氣中離子污染物的檢測。

應(yīng)用案例

采用FAAS 8000ICS在線監(jiān)測潔凈室中的NH4+、SO42-、NO3-、NO2-、Cl-、F- 等六種離子濃度10天內(nèi)變化情況。實驗結(jié)果與離線手動檢測結(jié)果一致，符合半導(dǎo)體潔凈室檢測要求。