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LIBS是一種以激光為激發(fā)源的原子發(fā)射光譜，具有適合各種形態(tài)（固體、液體、氣體）物質(zhì)的分析、無需樣品預(yù)處理、檢測(cè)速度快，以及遠(yuǎn)程、原位在線分析等優(yōu)勢(shì)，這些優(yōu)勢(shì)使得LIBS技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)樣品表面的元素分布分析、鍍層深度分析、遠(yuǎn)距離遙測(cè)及便攜式現(xiàn)場(chǎng)分析，目前應(yīng)用于冶金、環(huán)境、國(guó)家安全、地質(zhì)、核工業(yè)及航天工業(yè)等領(lǐng)域。

Nd:YAG燈泵激光器，波長(zhǎng)1064nm,脈沖寬度Sns,重頻20Hz;
通過平場(chǎng)凹面光柵進(jìn)行分光色散，所成像在一個(gè)平面之上， 采用6塊CCD，分辨率0.05nm;
通過位移平臺(tái)實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的線掃描或面掃描分析;
通過正負(fù)透鏡組對(duì)激光東進(jìn)行聚焦，改變正負(fù)透鏡之間的距離，從而調(diào)節(jié)焦點(diǎn)至樣品表面之間的距離;
軟件具備強(qiáng)大的數(shù)據(jù)處理功能，能夠通過軟件界面獨(dú)立選擇是否加載，并能夠進(jìn)行關(guān)鍵參數(shù)的設(shè)置;
基于NIST全光譜數(shù)據(jù)庫(kù)進(jìn)行尋峰，具備選擇加載其他光譜數(shù)據(jù)庫(kù)進(jìn)行尋峰的功能;具有便捷的查看各個(gè)元素的原子、離子譜線的功能;能夠?qū)崿F(xiàn)150nm-900nm范圍內(nèi)的定標(biāo)峰逍選;
可以設(shè)定選峰和定標(biāo)分析的光譜范圍;能夠自動(dòng)適應(yīng)0.005nm-0.5nm分辨率的光譜數(shù)據(jù);可針對(duì)不同分辨率的光譜數(shù)據(jù)，設(shè)置譜圖范圍寬度進(jìn)行分析;