北京歐波同光學技術有限公司
已認證
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VacCoat公司
Vac Coat有限公司是高質量定制物理氣相沉積(PVD)系統(tǒng)的設計者和制造商,客戶服務和售后服務出色。擁有25年以上真空和薄膜沉積技術經(jīng)驗。其研發(fā)團隊在學界科學家和資深工程師的支持下,高度積極地開發(fā)新設計以滿足客戶的特殊要求。
Vac Coat的工程團隊設計和制造的組件符合高質量標準。Vac Coat的真空鍍膜機系統(tǒng)已通過遍布全球的分銷商銷往許多大學和研究中心,并得到了很好的參考和反饋。
1、DSR1
儀器描述:
該產(chǎn)品為臺式磁控濺射鍍膜機,能夠在非導電或導電不良的樣品上涂布金(Au),鈀(Pd),鉑(Pt)和金/鈀(Au / Pd)的薄膜。 在較短時間內即可形成具有細粒度的均勻薄膜,使樣品適用于掃描電子顯微鏡(SEM)分析。儀器結構緊湊,全自動控制,設計符合人體工程學,所得結果一致,可重復性高。
產(chǎn)品特點:
? 7’’彩色觸摸屏:數(shù)據(jù)輸入簡單快速
? 通過觸摸屏中直觀檢測數(shù)據(jù)和曲線;歷史頁面可顯示300個歷史涂層信息。
? 可控鍍膜速率,可得到更精細的晶粒結構
? 可手動或自動,根據(jù)時間或根據(jù)厚度進行濺射
? 可聯(lián)網(wǎng)更新用戶友好軟件
? 可配高精度石英晶體厚度監(jiān)測儀(精度可達1nm)
? 樣品臺更換簡單:標準旋轉樣品臺或選用行星式旋轉樣品臺。標準樣品臺高度可調、可傾斜、可旋轉;行星式旋轉樣品臺為多孔樣品帶來更好的噴金效果。
? 可通過USB端口將曲線和沉積過程數(shù)據(jù)傳輸?shù)絇C
? 符合CE標準
產(chǎn)品參數(shù):
? 2英寸磁控管陰極
? 兩級直驅4m3/h旋片機械泵
? Pyrex樣品倉:外徑170mm,高140mm,
? 尺寸:50(W) x 37(D) × 45(H) Cm
? 運輸重量(包括真空泵):42kg
? 電源:220V-240V,50 / 60HZ-10A
? 極限真空度:小于40 mTorr
? 電子控制快門
? 電子控制真空閥
2、DCR
儀器描述:
DCR是一臺結構緊湊的臺式鍍碳儀。可用于掃描電子顯微鏡(SEM)、透射電子顯微鏡(TEM)和能譜分析(EDX)制樣。
產(chǎn)品特點:
? 可進行Flash式或Pulsed式鍍碳:Pulsed脈沖式鍍碳:短脈沖提供了更加可控的沉積方式,與傳統(tǒng)鍍碳相比,碎屑顯著減少
? 7’’彩色觸摸屏:數(shù)據(jù)輸入簡單快速;真空度、電流、厚度等鍍膜參數(shù)可通過觸摸屏中的數(shù)據(jù)或曲線直觀監(jiān)測;歷史頁面可顯示300個歷史涂層信息。
? 可聯(lián)網(wǎng)更新用戶友好軟件
? 可記錄和繪制涂層參數(shù)圖表
? 可配高精度石英晶體厚度監(jiān)測儀(精度可達1nm)
? 樣品臺更換簡單:標準旋轉樣品臺或選用行星式旋轉樣品臺。標準樣品臺高度可調、可傾斜、可旋轉;行星式旋轉樣品臺為多孔樣品帶來更好的噴金效果。
? 可通過USB端口將曲線和沉積過程數(shù)據(jù)傳輸?shù)絇C
? 符合CE標準
產(chǎn)品參數(shù):
1、真空泵:二極直驅旋片機械泵(4m3/h)
2、極限真空度:小于50 mTorr
3、Pyrex 樣品倉:外徑170mm,140mm,
4、0-25A脈沖直流開關電源
5、尺寸:450 x 500 x 370 mm (H x W x D)
6、電源:220V-240V,50 / 60HZ-10A
7、電子控制快門
8、精密真空壓力控制閥
9、USB數(shù)據(jù)傳輸端口
10、運輸重量:46kg
3、DSCR
儀器描述:
DSCR型臺式多功能鍍膜儀,是一臺緊湊型涂布系統(tǒng),集離子濺射系統(tǒng)和鍍碳系統(tǒng)于一體。該系統(tǒng)能夠在不導電或導電性差的樣品上濺射金(Au)、鈀(Pd)、鉑(Pt)和金/鈀(Au/Pd)等貴金屬,并且可以在樣品上鍍上碳膜。
DSCR是一臺多功能掃描電子顯微鏡制樣設備。全自動操作選項使得即使是初學者,也可以輕松使用系統(tǒng),形象的用戶友好軟件,簡化了對沉積信息的感知。
產(chǎn)品特點:
? 精密可復制涂層:可重復膜厚沉積
? 高分辨率精細涂層(金顆??蛇_2nm)
? 低壓濺射
? 無需冷卻系統(tǒng)
? 可進行Flash式或Pulsed式鍍碳:Pulsed脈沖式鍍碳:短脈沖提供了更加可控的沉積方式,與傳統(tǒng)鍍碳相比,碎屑顯著減少可使用雙碳纖維蒸鍍,用于厚層沉積
? 易于操作:7’’彩色觸摸屏直觀控制涂布過程,數(shù)據(jù)輸入簡單快速
? 用戶友好的全自動及半自動控制軟件
? 可配高精度石英晶體厚度監(jiān)測儀(精度可達1nm)
? 樣品臺更換簡單:標準旋轉樣品臺或選用行星式旋轉樣品臺。標準樣品臺高度可調、可傾斜、可旋轉;行星式旋轉樣品臺為多孔樣品帶來更好的噴金效果。
? 可通過USB端口將曲線和沉積過程數(shù)據(jù)傳輸?shù)絇C
? 符合CE標準
產(chǎn)品參數(shù):
1、真空泵:二極直驅旋轉機械泵(4m3/h)
2、Pyrex 樣品倉:外徑170mm,140mm,
3、儀器尺寸:45(H)x50(W)37×(D)Cm
4、2英寸磁控管陰極
5、極限真空度:小于50 mTorr
6、電子控制快門
7、自動控制泄露閥
8、電源:220V-240V, 50/60HZ- 10A
9、80W直流開關電源
10、運輸重量:42kg
4、DST1-170
產(chǎn)品描述:
DST1-170是一臺結構緊湊的臺式磁控離子濺射儀。適用于金屬材料濺射,包括惰性金屬以及氧化性金屬,DST1-170配有直徑為2英寸的磁控管陰極。在較短時間內即可形成晶粒尺寸均勻的薄膜。
DST1-170高真空濺射儀,可提供高質量的均勻薄膜,具有較細的晶粒尺寸,十分適用于樣品的高分辨和高品質表征,如FE-SEM、EDS/WDS、TEM和EBSD,也可應用于科研和各種薄膜的應用研究中,如:納米和微電子、太陽能電池應用、光學元件涂層合薄膜傳感器等。
產(chǎn)品特點:
? 高真空渦輪泵90 L/S(Leybold)+二級旋片式真空泵的前級泵,為儀器提供了潔凈的高真空,減少了污染。
? 涂層速率可控,可獲得更細的晶粒結構
? 可手動或自動,根據(jù)時間或根據(jù)厚度進行濺射
? 7’’彩色觸摸屏:數(shù)據(jù)輸入簡單快速;真空度、電流、厚度等鍍膜參數(shù)可通過觸摸屏中的數(shù)據(jù)或曲線直觀監(jiān)測;歷史頁面可顯示300個歷史涂層信息。
? 觸摸屏直觀地控制涂布過程,數(shù)據(jù)輸入簡單快速
? 可通過網(wǎng)絡更新的用戶友好軟件
? 可記錄和繪制涂層參數(shù)圖
? 可配高精度石英晶體厚度監(jiān)測儀(精度可達1nm)
? 樣品臺更換簡單:標準旋轉樣品臺或選用行星式旋轉樣品臺。標準樣品臺高度可調、可傾斜、可旋轉;行星式旋轉樣品臺為多孔樣品帶來更好的噴金效果。
? 可通過USB端口將曲線和沉積過程數(shù)據(jù)傳輸?shù)絇C
? 符合CE標準
產(chǎn)品參數(shù):
1、高真空渦輪泵90 L/S(Leybold)
2、二極直驅旋片機械泵(4m3/h)
3、極限真空:小于5x10-6 Torr
4、獨立于壓力自動控制濺射功率
5、全量程真空計(Leybold)
6、ISO-KF 63蝶形閥
7、80 W直流電源
8、電子控制快門
9、電控氬氣泄漏閥
10、設施:220V-240V,50/60HZ-16A
11、運輸重量:36kg
5、DCT
產(chǎn)品描述:
DCR是一臺裝有渦輪泵的碳鍍儀,可提供細粒度均勻的高質量碳膜,適用于需要高分辨率和高質量表征的樣品,尤其適合FE-SEM,EDS/WDS,TEM,EBSD和薄膜應用研究等。
產(chǎn)品特點:
? 可進行Flash式或Pulsed式鍍碳:Pulsed脈沖式鍍碳:短脈沖提供了更加可控的沉積方式,與傳統(tǒng)鍍碳相比,碎屑顯著減少
? 7’’彩色觸摸屏:數(shù)據(jù)輸入簡單快速;真空度、電流、厚度等鍍膜參數(shù)可通過觸摸屏中的數(shù)據(jù)或曲線直觀監(jiān)測;歷史頁面可顯示300個歷史涂層信息。
? 可聯(lián)網(wǎng)更新用戶友好軟件
? 可記錄和繪制涂層參數(shù)圖表
? 可配高精度石英晶體厚度監(jiān)測儀(精度可達1nm)
? 樣品臺更換簡單:標準旋轉樣品臺或選用行星式旋轉樣品臺。標準樣品臺高度可調、可傾斜、可旋轉;行星式旋轉樣品臺為多孔樣品帶來更好的噴金效果
? 可通過USB端口將曲線和沉積過程數(shù)據(jù)傳輸?shù)絇C
? 可選用碳棒蒸發(fā)源及適配大電流電源
? 符合CE標準
產(chǎn)品參數(shù):
1、高真空渦輪分子泵90 l/s Leybold
2、二級旋片式真空泵作為分子泵前級泵
3、全量程真空計
4、真空倉:外徑170mm,140mm
5、0-25A脈沖直流開關電源
6、極限真空度:小于50×10-6 Torr
7、尺寸:450 x 500 x 370 mm (H × W × D)
8、電源:220V-240V,50 / 60HZ-10A
9、用于精確控制真空壓力的精密計量閥
10、電子控制快門
11、涂層參數(shù)實時圖
12、USB數(shù)據(jù)傳輸端口
13、運輸重量:46kg
6、DSCT
產(chǎn)品描述:
DSCT是一臺多功能的涂布系統(tǒng),集濺射鍍膜機和纖維碳鍍膜機于一體:在一臺儀器中具有可互換的磁頭。
DSCT高真空鍍膜機,可提供晶粒尺寸很細的高質量均勻薄膜,適用于需要高分辨率和高質量表征的樣品,如FE-SEM、EDS/WDS、TEM和EBSD。
DSCT具有2''磁控管陰極,80w直流開關電源和碳蒸發(fā)大電流電源,也可用于科研及不同薄膜的應用研究中。
產(chǎn)品特點:
? 高真空渦輪泵90 L/S(Leybold)+二級旋片式真空泵的前級泵,為儀器提供了潔凈的高真空,減少了污染
? 涂層速率可控,可獲得更細的晶粒結構
? 可進行Flash式或Pulsed式鍍碳:Pulsed脈沖式鍍碳:短脈沖提供了更加可控的沉積方式,與傳統(tǒng)鍍碳相比,碎屑顯著減少
? 可手動或自動,根據(jù)時間或根據(jù)厚度進行濺射
? 7’’彩色觸摸屏:數(shù)據(jù)輸入簡單快速;真空度、電流、厚度等鍍膜參數(shù)可通過觸摸屏中的數(shù)據(jù)或曲線直觀監(jiān)測;歷史頁面可顯示300個歷史涂層信息。
? 觸摸屏直觀地控制涂布過程,數(shù)據(jù)輸入簡單快速
? 可通過網(wǎng)絡更新的用戶友好軟件
? 可記錄和繪制涂層參數(shù)圖
? 可配高精度石英晶體厚度監(jiān)測儀(精度可達1nm)
? 樣品臺更換簡單:標準旋轉樣品臺或選用行星式旋轉樣品臺。標準樣品臺高度可調、可傾斜、可旋轉;行星式旋轉樣品臺為多孔樣品帶來更好的噴金效果。
? 可通過USB端口將曲線和沉積過程數(shù)據(jù)傳輸?shù)絇C
? 符合CE標準
產(chǎn)品參數(shù):
1、極限真空:小于5×10-6 Torr
2、獨立于壓力自動控制濺射速率
3、用于精確控制真空壓力的精密質量流量計(MFC)
4、可通過USB端口將曲線和沉積過程數(shù)據(jù)傳輸?shù)絇C
5、設施:220V-240V,50/60HZ-16A
6、運輸重量:42kg
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