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  真空燒結(jié)爐主要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝，可進(jìn)行真空燒結(jié)，氣體保護(hù)燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié)，是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備，它設(shè)計(jì)構(gòu)思新穎，操作方便，結(jié)構(gòu)緊湊，在一臺設(shè)備上可完成多個工藝流程。亦可用于其他領(lǐng)域內(nèi)的真空熱處理，真空釬焊等工藝。  

特別提醒：  

    1、由于模具一般由用戶自備，模具材料基本上選用高純石墨，其耐壓極限為40MPa，建議用戶使用在30MPa以下比較安全，加壓前應(yīng)計(jì)算模具上、下沖頭的面積，再換算成壓力，具體公式如下：  

系統(tǒng)允許加壓（噸）=上或下沖頭面積×30MPa  

    如預(yù)先不計(jì)算盲目加壓導(dǎo)致模具、壓塊、發(fā)熱體、保溫屏等石墨制品損壞，本公司概不負(fù)責(zé)。  

    2、熱電偶為鎢錸型，使用過會發(fā)脆，不能接觸。如損壞應(yīng)及時更換。其型號是W2型。  

    3、冬天應(yīng)注意循環(huán)水的保暖問題，否則易發(fā)生水管爆裂。  

    4、使用后爐體應(yīng)保持真空，因爐內(nèi)保溫層易受潮，保真空這樣下次抽真空會快些。  

    5、因設(shè)備較復(fù)雜，建議專人使用，專人負(fù)責(zé)，對新手嚴(yán)格實(shí)行用前培訓(xùn)，用后檢查，操作使用要有記錄等設(shè)備使用規(guī)定。