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湖南頂立科技股份有限公司
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湖南頂立科技股份有限公司
金牌會(huì)員已認(rèn)證
采用先進(jìn)的控制技術(shù)，能精密控制MTS的流量和壓力，爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定，壓力波動(dòng)范圍?。?/span>
全密閉沉積室，密封效果好，抗污染能力強(qiáng)；
多通道工藝氣路，流場(chǎng)均勻，無(wú)沉積死角，沉積效果好；
多級(jí)高效尾氣處理系統(tǒng)，能有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點(diǎn)粘性產(chǎn)物，環(huán)境友好；
可選配新設(shè)計(jì)的防腐蝕真空機(jī)組，持續(xù)工作時(shí)間長(zhǎng)，維修率極低；
使用工藝氣氛：真空/CH4/H2/N2/Ar/BCI3/NH3/MTS。
| 參數(shù)\型號(hào) | HCVD-060609-SIC | HCVD-101015-SIC | VCVD-121220-SIC | HCVD-151530-SIC | HCVD-252035-SIC |
| 工作區(qū)尺寸W×H×L（mm） | 600×600×900 | 1000×1000×1500 | 1200×1200×2000 | 1500×1500×3000 | 2500×2000×3500 |
| **溫度（℃） | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| 溫度均勻性（℃） | ±7.5 | ±7.5 | ±10 | ±10 | ±10 |
| 極限真空度（Pa） | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
| 壓升率（Pa/h） | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| 加熱方式 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 |
以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整，不作為驗(yàn)收依據(jù)，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。
結(jié)構(gòu)形式：臥式-單開門/雙開門；立式-上出料/下出料
爐門鎖緊方式：手動(dòng)/自動(dòng)
爐殼材質(zhì)：內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼
保溫材質(zhì)：碳?xì)?石墨氈/碳纖維固化氈/陶瓷纖維氈
加熱器、馬弗材質(zhì)：石墨/CFC/金屬
熱電偶：K/N/C/S分度號(hào)
真空泵：機(jī)械泵組/耐腐蝕泵組
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企業(yè)名稱
湖南頂立科技股份有限公司企業(yè)類型
其他股份有限公司(非上市)信用代碼
91430100788042096T法人代表
戴煜注冊(cè)地址
中國(guó)（湖南）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)長(zhǎng)沙片區(qū)星沙產(chǎn)業(yè)基地（長(zhǎng)龍街道）涼塘東路1271號(hào)成立日期
2006-05-25注冊(cè)資本
3989.2752萬(wàn)人民幣有效期限
2006-05-25 至 無(wú)固定期限
經(jīng)營(yíng)范圍
許可項(xiàng)目：第二類醫(yī)療器械生產(chǎn)；第三類醫(yī)療器械生產(chǎn)；第三類醫(yī)療器械經(jīng)營(yíng)（依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)，具體經(jīng)營(yíng)項(xiàng)目以相關(guān)部門批準(zhǔn)文件或許可證件為準(zhǔn)）一般項(xiàng)目：新材料技術(shù)研發(fā)；新材料技術(shù)推廣服務(wù)；技術(shù)服務(wù)、技術(shù)開發(fā)、技術(shù)咨詢、技術(shù)交流、技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)推廣；工業(yè)設(shè)計(jì)服務(wù)；3D打印服務(wù)；3D打印基礎(chǔ)材料銷售；增材制造；石墨及碳素制品制造；石墨及碳素制品銷售；合成材料制造（不含危險(xiǎn)化學(xué)品）；高性能纖維及復(fù)合材料制造；高性能纖維及復(fù)合材料銷售；金屬材料制造；非金屬礦物制品制造；非金屬礦及制品銷售；金屬基復(fù)合材料和陶瓷基復(fù)合材料銷售；鍛件及粉末冶金制品制造；鍛件及粉末冶金制品銷售；金屬表面處理及熱處理加工；機(jī)械電氣設(shè)備制造；機(jī)械設(shè)備研發(fā)；機(jī)械設(shè)備銷售；機(jī)械設(shè)備租賃；專用設(shè)備制造（不含許可類專業(yè)設(shè)備制造）；冶金專用設(shè)備制造；冶金專用設(shè)備銷售；環(huán)境保護(hù)專用設(shè)備制造；環(huán)境保護(hù)專用設(shè)備銷售；泵及真空設(shè)備制造；泵及真空設(shè)備銷售；智能基礎(chǔ)制造裝備制造；智能基礎(chǔ)制造裝備銷售；烘爐、熔爐及電爐制造；烘爐、熔爐及電爐銷售；增材制造裝備制造；增材制造裝備銷售；非居住房地產(chǎn)租賃；貨物進(jìn)出口；技術(shù)進(jìn)出口；第二類醫(yī)療器械銷售（除依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目外，憑營(yíng)業(yè)執(zhí)照依法自主開展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)）。
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