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湖南頂立科技股份有限公司
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立式化學(xué)氣相沉積爐（沉積炭）可用于以碳?xì)錃怏w（如C3H8、CH4等）為碳源的材料表面或基體等溫CVD/CVI處理。
☆ 采用多溫區(qū)獨(dú)立控溫，溫度均勻性好；
☆ 采用特殊結(jié)構(gòu)沉積室，密封效果好，抗污染能力強(qiáng)；
☆ 采用多通道沉積氣路，流場均勻，無沉積死角，沉積效果好；
☆ 對炭沉積過程中產(chǎn)生的焦油、固體粉塵、有機(jī)氣體等能進(jìn)行有效處理。
| 參數(shù)\型號 | VCVD-0305-C | VCVD-0608-C | VCVD-0812-C | VCVD-1120-C | VCVD-1320-C | VCVD-1520-C |
| 工作區(qū)尺寸D×H（mm） | Φ300×500 | Φ600×800 | Φ800×1200 | Φ1100×2000 | Φ1300×2000 | Φ1500×2000 |
| **溫度（℃） | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| 溫度均勻性（℃） | ±5/±10 | ±7.5/±10 | ±7.5/±15 | ±10/±15 | ±10/±15 | ±10/±20 |
| 極限真空度（Pa） | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
| 壓升率（Pa/h） | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| 加熱方式 | 電阻/感應(yīng) | 電阻/感應(yīng) | 電阻/感應(yīng) | 電阻/感應(yīng) | 電阻/感應(yīng) | 電阻/感應(yīng) |
| 參數(shù)\型號 | VCVD-1822-C | VCVD-2032-C | VCVD-2632-C | VCVD-3338-C | VCVD-3344-C |
| 工作區(qū)尺寸D×H（mm） | Φ1800×2200 | Φ2000×3200 | Φ2600×3200 | Φ3300×3800 | Φ3300×4400 |
| **溫度（℃） | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| 溫度均勻性（℃） | ±15 | ±15 | ±15 | ±20 | ±20 |
| 極限真空度（Pa） | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
| 壓升率（Pa/h） | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| 加熱方式 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 |
以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整，不作為驗(yàn)收依據(jù)，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。
☆ 爐門：絲桿升降/液壓升降/手動升降；旋轉(zhuǎn)移開/平行移開（大尺寸爐門）；手動鎖緊/自動鎖圈鎖緊
☆ 爐殼：全碳鋼/內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼
☆ 爐膽：軟碳?xì)?軟石墨氈/硬質(zhì)復(fù)合氈/CFC
☆ 加熱器、馬弗：等靜壓石墨/模壓三高石墨/細(xì)顆粒石墨
☆ 工藝氣路系統(tǒng)：體積/質(zhì)量流量計(jì)；手動閥/自動閥；進(jìn)口/國產(chǎn)
☆ 熱電偶：K分度號/N分度號/C分度號/S分度號
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企業(yè)名稱
湖南頂立科技股份有限公司企業(yè)類型
其他股份有限公司(非上市)信用代碼
91430100788042096T法人代表
戴煜注冊地址
中國（湖南）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)長沙片區(qū)星沙產(chǎn)業(yè)基地（長龍街道）涼塘東路1271號成立日期
2006-05-25注冊資本
3989.2752萬人民幣有效期限
2006-05-25 至 無固定期限
經(jīng)營范圍
許可項(xiàng)目：第二類醫(yī)療器械生產(chǎn)；第三類醫(yī)療器械生產(chǎn)；第三類醫(yī)療器械經(jīng)營（依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動，具體經(jīng)營項(xiàng)目以相關(guān)部門批準(zhǔn)文件或許可證件為準(zhǔn)）一般項(xiàng)目：新材料技術(shù)研發(fā)；新材料技術(shù)推廣服務(wù)；技術(shù)服務(wù)、技術(shù)開發(fā)、技術(shù)咨詢、技術(shù)交流、技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)推廣；工業(yè)設(shè)計(jì)服務(wù)；3D打印服務(wù)；3D打印基礎(chǔ)材料銷售；增材制造；石墨及碳素制品制造；石墨及碳素制品銷售；合成材料制造（不含危險(xiǎn)化學(xué)品）；高性能纖維及復(fù)合材料制造；高性能纖維及復(fù)合材料銷售；金屬材料制造；非金屬礦物制品制造；非金屬礦及制品銷售；金屬基復(fù)合材料和陶瓷基復(fù)合材料銷售；鍛件及粉末冶金制品制造；鍛件及粉末冶金制品銷售；金屬表面處理及熱處理加工；機(jī)械電氣設(shè)備制造；機(jī)械設(shè)備研發(fā)；機(jī)械設(shè)備銷售；機(jī)械設(shè)備租賃；專用設(shè)備制造（不含許可類專業(yè)設(shè)備制造）；冶金專用設(shè)備制造；冶金專用設(shè)備銷售；環(huán)境保護(hù)專用設(shè)備制造；環(huán)境保護(hù)專用設(shè)備銷售；泵及真空設(shè)備制造；泵及真空設(shè)備銷售；智能基礎(chǔ)制造裝備制造；智能基礎(chǔ)制造裝備銷售；烘爐、熔爐及電爐制造；烘爐、熔爐及電爐銷售；增材制造裝備制造；增材制造裝備銷售；非居住房地產(chǎn)租賃；貨物進(jìn)出口；技術(shù)進(jìn)出口；第二類醫(yī)療器械銷售（除依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目外，憑營業(yè)執(zhí)照依法自主開展經(jīng)營活動）。
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