PECVD-500A-D
產(chǎn)品介紹
發(fā)布時間:2022/10/24 663人已觀看
簡介: 智能PECVD設(shè)備是目前最新型的一款設(shè)備,將所有的控制部分集為一體,此款設(shè)備是我司在2013年獲得專利的設(shè)備??膳鋫銹E射頻電源,將CVD系統(tǒng)升級為PECVD。當(dāng)參與反應(yīng)的氣氛進(jìn)入爐管在射頻電源的作用下產(chǎn)生離子體,可使反應(yīng)更加充分。同時等離子體起增強(qiáng)的作用,從而很大程度上優(yōu)化實驗的工藝條件。
我公司研制的滑軌式PECVD系統(tǒng)能使整個實驗腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū),輝光均勻等效,這種技術(shù)很好的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài),這樣離子化的范圍和強(qiáng)度是傳統(tǒng)PECVD的百倍,并解決了物料不均勻堆積現(xiàn)象。
1、與傳統(tǒng)CVD系統(tǒng)比較,生長溫度更低。
2、使用滑軌爐實現(xiàn)快速升溫和降溫。
3、設(shè)備特有的專利技術(shù)使得整管輝光均勻等效,均勻生長。