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            安徽貝意克設備技術有限公司

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            小型回轉(zhuǎn)PECVD系統(tǒng)

            小型回轉(zhuǎn)PECVD系統(tǒng)
            • 品牌:貝意克
            • 產(chǎn)地:安徽
            • 關注度:2016
            • 型號:BTF-1200C-R-S-PECVD
            • 報價:面議
            • 信息完整度:
            核心參數(shù)
            • 非金屬電熱元件:其他
            • 金屬電熱元件:鐵鉻鋁絲
            • 燒結氣氛:真空
            • 溫控精度:±1℃
            • 最高溫度:1200℃
            • 額定溫度:1100℃
            產(chǎn)品介紹

            一、主要特點

            1、該設備爐管可360度旋轉(zhuǎn),管內(nèi)壁有石英擋片幫助粉料翻轉(zhuǎn)有助于燒結得更均勻;

            2、可左右大角度傾斜,方便出放料,傾斜角度在0~35°之間;

            3、該款設備是全自動Plasma增強CVD系統(tǒng)(PECVD),連續(xù)可控溫度以及Plasma強度等,配備真空系統(tǒng),可以實現(xiàn)低壓條件下的實驗,針對低溫石墨烯、碳納米管生長等。PECVD系統(tǒng)能使整個實驗腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū),輝光均勻等效,這種技術很好的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài),這樣離子化的范圍和強度是傳統(tǒng)PECVD的百倍,并解決了物料不均勻堆積現(xiàn)象;

            4、本款設備可以做金屬復合石墨烯材料,是目前**端的金屬復合材料制備設備。


            二、技術參數(shù)

            顯示模式

            7"液晶觸屏顯示

            **溫度

            1200℃

            升溫速率

            10℃/S

             加熱區(qū)長度

             230mm

            控溫精度

            ±1℃

            加熱元件

            電阻絲

            熱電偶

            K型

            控溫方式

            7"液晶觸屏與工控儀表雙重控溫,模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),人工智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能。

            爐管尺寸

            Φ25*800mm

            爐管轉(zhuǎn)速

            3~13r/min

            傾斜角度

            0~35°

            加熱功率

            3KW

            射頻功率輸出范圍

            0~500W

            供氣系統(tǒng)

            標配三路質(zhì)量流量計(50/100/200sccm)

            供電電源

            220V50Hz

            通訊接口

            USB

            外形尺寸

            1600mm*650mm*1400mm

            設備凈重

            約220KG


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