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硅微粉是一種無毒、無味、無污染的無機非金屬材料。由于它具備耐溫性好、耐酸堿腐蝕、導熱系數(shù)高、高絕緣、低膨脹、化學性能穩(wěn)定、硬度大等優(yōu)良的性能，被廣泛用于化工、電子、集成電路、電器、塑料、涂料、高級油漆、橡膠、國防等領(lǐng)域。隨著高技術(shù)領(lǐng)域的迅猛發(fā)展，硅微粉亦將步入新的歷史發(fā)展時期。

硅微粉的粒度控制

隨著我國微電子工業(yè)、國防工業(yè)及其他高新技術(shù)的飛速發(fā)展，要求硅微粉必須滿足高純、超細及球形化的要求、所以，硅微粉的加工過程的污染、粒度控制、純度控制、放射性元素控制等問題更需要嚴格把控。

鳳陽信成工業(yè)材料有限公司使用的LS-POP(9)型激光粒度儀

不同級別的硅微粉對粒度要求是不一樣的，其中“球?！惫栉⒎圻x用高品質(zhì)石英原礦，細度在325目至5000目之間，具有合理可控的粒度范圍，外觀為白色粉末狀。當前，國內(nèi)市場需求的高檔硅微粉如球形硅微粉仍舊依賴進口。

新沂市宏潤石英硅微粉有限公司使用中的LS-POP（6）激光粒度儀

硅微粉的球形度檢測

球形硅微粉主要用于大規(guī)模集成電路封裝，在航空、航天、精細化工、可擦寫光盤、大面積電子基板、特種陶瓷及日用化妝品等高新技術(shù)領(lǐng)域也有應用，它在環(huán)氧樹脂體系中作為填料后，可節(jié)約大量的環(huán)氧樹脂。

顆粒球形度是顆粒的基本參數(shù)之一。球形度的大小直接影響顆粒的流動性和堆積性。目前球形度的檢測主要靠顯微鏡。

在球形硅微粉的制備及應用過程中，球形度及粒度檢測至關(guān)重要。

LS-POP(9)型激光粒度儀是歐美克儀器公司依靠英國思百吉強大的研發(fā)管理經(jīng)驗，結(jié)合歐美克銷量最大的儀器LS-POP(6)的市場應用特點，繼承LS-POP(6)適應惡劣工作環(huán)境、性價比高等優(yōu)點，借鑒國外粒度儀先進平臺而打造出的一款全新儀器。該儀器測試性能更強、性價比更高。

▼LS-POP(9)測試報告

技術(shù)指標：

1. 測試原理：全量程米氏散射理論

2. 測試范圍：0.1～750μm

3. 進樣方式：濕法

4. 重復性誤差：<1%（標樣D50偏差）

5. 掃描頻率：1 kHz

6. 測試時間：1～2分鐘

7. 檢測器：通道數(shù)49個，由前向、側(cè)向、大角和后向光電探測器組成

8. 光源種類：氦-氖激光，功率：2.0 mW，波長：0.6328 μm

9. 工作環(huán)境： 5～35℃（溫度），＜85%（相對濕度）

10. 輸出數(shù)據(jù)：粒度分布表、粒度分布曲線、平均粒徑、中位徑、比表面積等

11. 外觀尺寸（L×W×H）：838×265×295mm（主機）