國(guó)儀量子技術(shù)(合肥)股份有限公司
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SEM5000X是一款超高分辨率場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡,其分辨率達(dá)到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物鏡設(shè)計(jì)、高壓隧道技術(shù)(SuperTunnel)以及鏡筒工藝升級(jí),實(shí)現(xiàn)了低電壓分辨率的進(jìn)一步提升。全新設(shè)計(jì)的樣品倉(cāng),擴(kuò)展接口增加至16個(gè),快速換樣倉(cāng)**支持8寸晶圓(**直徑208 mm),極大擴(kuò)展應(yīng)用范圍。高級(jí)掃描模式和自動(dòng)功能增強(qiáng),帶來(lái)了更強(qiáng)的性能和更好的體驗(yàn)。
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