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            德國(guó)萊馳Emax機(jī)械合金法制備半導(dǎo)體合金

            德國(guó)萊馳Emax機(jī)械合金法制備半導(dǎo)體合金
            德國(guó)Retsch(萊馳)  2017-03-10  |  閱讀:3561

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            文章摘要:

            機(jī)械合金化(Mechanical Alloying,簡(jiǎn)稱MA)是指金屬或合金粉末在高能球磨機(jī)中通過(guò)粉末顆粒與磨球之間長(zhǎng)時(shí)間激烈地沖擊、碰撞,使粉末顆粒反復(fù)產(chǎn)生冷焊、斷裂,導(dǎo)致粉末顆粒中原子擴(kuò)散,從而獲得合金化粉末的一種粉末制備技術(shù)。本文以硅鍺合金和碲化鉍半導(dǎo)體材料合金化制備實(shí)驗(yàn)為例,介紹了高能球磨儀Emax的使用方法和技術(shù)優(yōu)勢(shì),對(duì)合金樣品制備的應(yīng)用有借鑒作用。


             

             

            傳統(tǒng)方法制備不銹鋼類合金要求高溫下進(jìn)行熔融,如果需求量很小抑或無(wú)法熔融,機(jī)械合金法就是一個(gè)很好的替代方法,傳統(tǒng)上會(huì)用行星式球磨儀來(lái)完成。

            上世紀(jì)60年代末,美國(guó)國(guó)際鎳公司用機(jī)械合金法第一次制備成功耐高溫鎳鐵合金并以此申請(qǐng)專利。機(jī)械合金研磨需要有強(qiáng)勁的動(dòng)能把固體粉末結(jié)合在一起,行星式球磨儀產(chǎn)生的高能撞擊可以提供所需能量。在研磨球的撞擊和擠壓下,細(xì)粉顆粒會(huì)發(fā)生塑性形變并且焊合在一起。所以機(jī)械合金法可以彌補(bǔ)傳統(tǒng)高溫熔融無(wú)法制備的樣品的不足,并且可以制備更大自由度混合比的樣品。

            熱電合金材料

            硅(Si)和鍺(Ge)都是最通用常見(jiàn)半導(dǎo)體材料是光電電池和晶體管產(chǎn)業(yè)的基石。硅鍺合金材料性質(zhì)如帶隙可以由改變硅和鍺混合比例來(lái)調(diào)整。熱電合金材料用于制造航天熱偶發(fā)電機(jī),保證了空間探索和試驗(yàn)設(shè)備的動(dòng)力供應(yīng)。

            在商用熱電材料領(lǐng)域,碲化鉍(Bi2Te3)因其熱電效能轉(zhuǎn)化率高,是研究最多的材料,被用來(lái)做半導(dǎo)體制冷元件。

             

             

            高能球磨儀Emax

            Emax的轉(zhuǎn)速能達(dá)到每分鐘2000轉(zhuǎn),特殊設(shè)計(jì)的跑道型研磨罐可以產(chǎn)出更大的粉碎能。結(jié)合了高速撞擊力和密集摩擦力,高能球磨儀的強(qiáng)勁能量輸入可以做快速納米研磨實(shí)驗(yàn)和機(jī)械合金應(yīng)用。跑道型的研磨罐和偏心輪運(yùn)動(dòng)方式,有效保證了樣品的混合,樣品最后不僅可以磨得很細(xì),粒度分布范圍也會(huì)變很窄。

            內(nèi)置水冷管路可以快速帶走樣品子啊研磨中產(chǎn)生的熱量,保護(hù)樣品免受過(guò)高溫度影響,從而可以不像行星式球磨儀一樣需要間歇停轉(zhuǎn),大大提高研磨工作效率。如果有更嚴(yán)格的控溫需要,Emax還可以外接冷水機(jī),進(jìn)一步降低研磨溫度(最低工作溫度不能低于5攝氏度)。

            1:研磨前樣品XRD 分析結(jié)果 Si(紅)Ge(綠)整個(gè)掃描范圍從10-60°,可以看出SiGe晶面特征峰。

            2:研磨5小時(shí)后XRD分析結(jié)果 可以看出晶面特征峰已經(jīng)偏移和合并,機(jī)械合金化已有效果

            3:研磨5,8,9小時(shí)后XRD分析結(jié)果 晶面特征峰值會(huì)有所變窄和遷移,顯示5-6小時(shí)的反應(yīng)后機(jī)械合金反應(yīng)已經(jīng)基本完成


            原來(lái)硅和鍺的機(jī)械合金化反應(yīng)用是用行星式球磨儀進(jìn)行的,但是會(huì)有很多問(wèn)題導(dǎo)致結(jié)果不盡如人意。行星式球磨儀需要至少80分鐘才能把樣品處理到可以進(jìn)行機(jī)械合金化的初始細(xì)度,接下來(lái)即使用中低轉(zhuǎn)速400轉(zhuǎn)/分也會(huì)導(dǎo)致樣品在研磨罐中結(jié)塊,無(wú)法使用其全部能量來(lái)進(jìn)行機(jī)械合金反應(yīng)。另一個(gè)問(wèn)題是研磨罐過(guò)熱需要間歇,在整個(gè)13小時(shí)的反應(yīng)時(shí)間中需要額外加入至少90分鐘停止時(shí)間。而高能球磨儀Emax自帶水冷功能,高速運(yùn)行也無(wú)需間歇,沒(méi)有樣品結(jié)塊的現(xiàn)象,同時(shí)還大大提高了反應(yīng)效率。

                          

            4                                                                                                                 5

            BiTe機(jī)械合金反應(yīng) 1小時(shí)后XRD分析結(jié)果 4為球料比10:1 (體積比)圖5為球料比5:1(體積比)

             


            機(jī)械合金法制備硅鍺合金

            硅鍺合金比為SI 3.63 Ge2.36克,用50ml碳化鎢研磨罐,10mm碳化鎢研磨球8個(gè)(球料比10:1)。硅料和鍺料的原始尺寸為1-25mm4mm。2000轉(zhuǎn)/20分鐘后,樣品已經(jīng)微粉化無(wú)結(jié)塊現(xiàn)象。接下來(lái)1200轉(zhuǎn)/ 9個(gè)小時(shí)(每隔1小時(shí)中間間歇1分鐘后反轉(zhuǎn)樣品以避免樣品結(jié)塊)。

            機(jī)械合金反應(yīng)前20分鐘樣品做了XRD定性和定量分析,SiGe的特征峰值都可以很清晰地辨認(rèn)出來(lái),說(shuō)明碳化鎢球幾乎沒(méi)有產(chǎn)生摩擦效應(yīng)。

            在整個(gè)反應(yīng)過(guò)程中合金始終保持微粉化,Emax的溫度沒(méi)有超過(guò)30℃。經(jīng)過(guò)9個(gè)小時(shí)的反應(yīng)后,整個(gè)樣品基本消除了不定形態(tài),呈微晶狀態(tài)。


            機(jī)械合金法制備碲化鉍

            研究不同球料比(10:15:1)對(duì)反應(yīng)的影響,50ml 不銹鋼研磨罐, 10mm不銹鋼研磨球 10個(gè)。 球料比10:1的罐子中加入2.09Bi1.91Te。 球料比5:1的罐子中加入4.18Bi3.83Te。800轉(zhuǎn)/ 70分鐘(每10分鐘間歇1分鐘并反轉(zhuǎn)),結(jié)果做了XRD分析。

            在經(jīng)過(guò)近1小時(shí)機(jī)械合金研磨,BiTe的特征峰都有明顯可辨的偏移,顯示化合物Bi2Te3開(kāi)始形成。球料比10:1的樣品形成速度比5:1的更快,因?yàn)?/span>51樣品中Te的特征峰值強(qiáng)度更大,說(shuō)明10:1樣品中的Te反應(yīng)地更多。合金反應(yīng)繼續(xù)1200轉(zhuǎn)/3小時(shí)后,沒(méi)有樣品結(jié)塊。

            和原來(lái)用混合研磨儀1200轉(zhuǎn)/ 6.5小時(shí)制備相比,高能球磨儀Emax只需要2-3個(gè)小時(shí)候就能輕松完成任務(wù)。



             

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