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            產(chǎn)綜研成立“納米電子元件研究中心” 推進半導體微細化


            來源:機電在線

            日本的產(chǎn)業(yè)技術(shù)綜合研究所(產(chǎn)綜研)于近日成立了“納米電子元件研究中心”。目的是推進半導體元件的微細化,以及開發(fā)取代CMOS晶體管微細化的、基于新原理的技術(shù)。
              該中心將推進32nm及22nm工藝半導體元件的微細化和高性能化。為此,將從高性能元件的試制及其電特性測試、納米級別的物理測量評價分析、第一原理電子狀態(tài)計算、元件模擬等全方位的科學計算分析。
              此外,還將開發(fā)取代CMOS晶體管微細化的、基于新原理的技術(shù)。這是因為,32nm工藝以后的微細化需要導入新材料、新構(gòu)造及新生產(chǎn)工藝,但該領(lǐng)域預計到2020年左右將達到極限。通過開發(fā)基于新原理的技術(shù),有望解決這一問題。將建立與外部機構(gòu)共用的研發(fā)設(shè)施“NeIP(納米電子技術(shù)創(chuàng)新平臺)”,與產(chǎn)綜研的其他部門及外部機構(gòu)合作,將其用作把基本技術(shù)與元件實證相結(jié)合的設(shè)施。將以CMOS技術(shù)為基礎(chǔ),高效試制新材料及新構(gòu)造元件,推進可將測定數(shù)據(jù)和模擬試驗結(jié)果進行系統(tǒng)性積累的知識管理。
              另外,該中心為了推進新一代半導體的研發(fā),將繼續(xù)推進通過NEDO(新能源產(chǎn)業(yè)技術(shù)綜合開發(fā)機構(gòu))委托的國家項目“半導體MIRAI項目”培育的技術(shù)。產(chǎn)綜研的新一代半導體研究中心等參與了半導體MIRAI項目。產(chǎn)綜研稱,半導體MIRAI項目在應變硅技術(shù)及高介電常數(shù)柵極絕緣膜技術(shù)等領(lǐng)域,在保持 CMOS晶體管構(gòu)造的前提下提高性能方面取得了巨大成果。但是,隨著CMOS晶體管的尺寸逐漸接近10nm原子水平,需要開展包括半導體之外的技術(shù)領(lǐng)域在內(nèi)的研發(fā)等,因此產(chǎn)綜研決定設(shè)立納米電子元件研究中心。
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