中國粉體網(wǎng)訊  近日，華海清科股份有限公司在北京隆重舉辦了廠區(qū)啟用儀式，標志著其全資子公司華海清科（北京）科技有限公司負責(zé)的集成電路高端裝備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項目正式投入使用。

華海清科是一家擁有核心自主知識產(chǎn)權(quán)的高端半導(dǎo)體裝備供應(yīng)商，主要產(chǎn)品包括化學(xué)機械拋光（CMP）裝備、減薄裝備、劃切裝備、濕法裝備、晶圓再生、關(guān)鍵耗材與維保服務(wù)等，初步實現(xiàn)了“裝備+服務(wù)”的平臺化戰(zhàn)略布局。目前華海清科產(chǎn)品及服務(wù)已廣泛應(yīng)用于集成電路、先進封裝、大硅片、第三代半導(dǎo)體、MEMS、Micro LED等制造工藝，已基本覆蓋國內(nèi)12英寸集成電路制造商的大生產(chǎn)線。

華海清科的前身是2000年雒建斌院士、路新春教授帶領(lǐng)建立的研究團隊，2013年3月，清華控股聯(lián)合天津市投資設(shè)立華海清科，推動該項科技成果的產(chǎn)業(yè)化進程。2014年，華海清科研制出我國第一臺12英寸“干進干出”CMP裝備及系列產(chǎn)品，整體技術(shù)達到國際先進水平，實現(xiàn)28nm工藝量產(chǎn)，并具備14-7nm工藝拓展能力，創(chuàng)造了多項國產(chǎn)裝備紀錄。公司累計超過110余臺設(shè)備應(yīng)用于先進集成電路制造大生產(chǎn)線，市占率、進口替代率均位居國產(chǎn)IC裝備前列，系列成果填補了國內(nèi)空白，打破了國際巨頭壟斷，首次實現(xiàn)了國產(chǎn)拋光裝備的批量產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。

12英寸CMP裝備系列化產(chǎn)品（Universal-300X） 來源：華海清科官網(wǎng)

華海清科依靠國際化的經(jīng)營理念和人才團隊、先進的工藝試驗條件，致力于為半導(dǎo)體領(lǐng)域的企業(yè)提供先進的裝備及工藝的集成解決方案，遵循“科技服務(wù)社會”的公司宗旨，持續(xù)以優(yōu)良的品質(zhì)和卓越的服務(wù)贏得國內(nèi)外用戶的信賴，逐步發(fā)展成為國際知名的集成電路高端裝備及技術(shù)服務(wù)供應(yīng)商。目前公司化學(xué)機械拋光（CMP）裝備實現(xiàn)了多晶硅、二氧化硅、氮化硅、氧化鋁等介質(zhì)層全面覆蓋。

Universal-300系列 來源：華海清科官網(wǎng)

華海清科北京廠區(qū)位于北京市亦莊新城，總建筑面積為7萬多平方米，用于開展高端半導(dǎo)體裝備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化，啟用后將進一步推動更多的濕法、減薄、化學(xué)機械拋光等先進半導(dǎo)體裝備的誕生，整體生產(chǎn)經(jīng)營規(guī)模與技術(shù)研發(fā)實力都將進一步提升，是華海清科發(fā)展的又一重要里程碑，為今后的創(chuàng)新突破奠基賦能。

華海清科北京廠區(qū)  來源：華海清科官網(wǎng)

參考來源：

華海清科官網(wǎng)、Semi Dance、清華大學(xué)官網(wǎng)、每日經(jīng)濟新聞

（中國粉體網(wǎng)編輯整理/山林）

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