中國粉體網(wǎng)訊 隨著半導(dǎo)體技術(shù)的飛速發(fā)展，材料創(chuàng)新成為突破性能瓶頸的關(guān)鍵。金剛石憑借其卓越的硬度、導(dǎo)熱性及潛在的半導(dǎo)體特性，在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中的多個(gè)環(huán)節(jié)中已展現(xiàn)出巨大的發(fā)展?jié)摿蛻?yīng)用價(jià)值。其中，金剛石微粉作為磨拋料，以其超精密加工能力，顯著提升了半導(dǎo)體晶片的表面質(zhì)量和生產(chǎn)效率，成為半導(dǎo)體制造不可或缺的一環(huán)。
從2024半導(dǎo)體行業(yè)用金剛石材料技術(shù)大會組委會獲悉，本屆會議將于2024年12月24日在鄭州舉辦。北京中科美安科技有限公司作為參展單位邀請您共同出席。
北京中科美安科技有限公司
公司以⼤連化學(xué)物理研究所為技術(shù)依托，研發(fā)系列⾦屬鈀復(fù)合膜超純氫⽓純化器，⽤于制取超⾼純氫⽓。
實(shí)現(xiàn)6N ~ 9N ~ 12N超⾼純度，滿⾜半導(dǎo)體、多晶硅、⼈造鉆⽯加⼯、航天、軍⼯、⽯油化⼯等領(lǐng)域?qū)Τ?#12220;純氫⽓的需求。
20年深度積累核⼼技術(shù)
來自中科院⼤連化物所，20年研發(fā)積累，獨(dú)家超薄⾦屬鈀復(fù)合膜技術(shù)，⾼質(zhì)量實(shí)現(xiàn)氫提純能⼒。獲得國家發(fā)明專利兩項(xiàng)。全國第⼀，全球TOP3。
相⽐PSA，化學(xué)吸附技術(shù)，鈀膜是實(shí)現(xiàn)氫⽓超⾼純化的最佳⽅案。
⾦屬鈀能以溶解-擴(kuò)散的⽅式選擇性透過氫⽓，簡單來講，只有氫⽓能透過鈀膜，其他⽓體都透不過去，因此分離氫⽓的純度能達(dá)到8個(gè)9以上。上世紀(jì)70年代就已經(jīng)被⽤于為半導(dǎo)體⾏業(yè)提供超純氫。但⽬前國內(nèi)市場上主要是進(jìn)⼝的鈀管產(chǎn)品，厚度⾄少在15微⽶以上，價(jià)格昂貴，⽽且其透氫量很低，裝置投資和分離能耗很⾼，制氫成本和制氫規(guī)模⽆法滿⾜未來規(guī)�；瘧�(yīng)⽤的需求。將⾦屬鈀膜負(fù)載在多孔⽀撐體的表⾯，可以制備⾦屬鈀復(fù)合膜，厚度可以降低到5微⽶左右，制備廉價(jià)的⾦屬鈀復(fù)合膜，同傳統(tǒng)鈀管相⽐，其貴⾦屬⽤量降低10倍，并且可以獲得更⼤的透氫量，使裝置投資和純化成本⼤幅度降低，具有明顯的技術(shù)經(jīng)濟(jì)優(yōu)勢。
量產(chǎn)能⼒
突破超薄不銹鋼鈀膜制備瓶頸，達(dá)到DOE2015指標(biāo)國際上率先攻克制備難題并批量⽣產(chǎn)，成品率>90%；
多孔不銹鋼底膜制備突破國外壟斷，成本下降90%；
綜合成本相較國際解決⽅案降低95%。
已交付使⽤
• 北京冬奧會液態(tài)陽光加氫站（李燦院⼠項(xiàng)⽬）50kg/天；
• H公司產(chǎn)線60臺應(yīng)⽤，7N ~ 10N 純度；
• 某⼈造鉆⽯企業(yè)，40臺應(yīng)⽤，7N ~ 10N 純度；
• 四川某多晶硅產(chǎn)線應(yīng)⽤，7N純度，200Nm³/h流速
產(chǎn)品型號列表
適配于⼩流量場景下的鈀膜氫⽓純化解決⽅案。
同時(shí)還具備超⼤流量和12N級氫純化⽅案：
最⾼純度可達(dá)12N；
最⾼流量可達(dá)800Nm³
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