中國(guó)粉體網(wǎng)訊  近日，由沈陽(yáng)產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院體系公司盛科創(chuàng)投聯(lián)合其他社會(huì)資本完成對(duì)中科金瓷數(shù)千萬(wàn)元PreA輪增資，本輪融資將用于進(jìn)一步提升公司精密陶瓷零部件技術(shù)的開發(fā)能力，推進(jìn)新產(chǎn)品研發(fā)和量產(chǎn)產(chǎn)品的標(biāo)準(zhǔn)化生產(chǎn)。此外，中科金瓷目前已完成沈陽(yáng)產(chǎn)業(yè)化子公司的注冊(cè)，落地于沈陽(yáng)市航空產(chǎn)業(yè)園，后期將逐步落地建設(shè)生產(chǎn)線、進(jìn)行本地化生產(chǎn)。

中科金瓷落地渾南廠區(qū)圖

陶瓷零部件在半導(dǎo)體制程中廣泛應(yīng)用

半導(dǎo)體設(shè)備的升級(jí)迭代，很大程度上有賴于精密零部件的關(guān)鍵技術(shù)突破。先進(jìn)陶瓷具有高硬度、高彈性模量、高耐磨、高絕緣、耐腐蝕、低膨脹等優(yōu)點(diǎn)，可用作多種半導(dǎo)體設(shè)備的零部件，在半導(dǎo)體設(shè)備零部件中先進(jìn)陶瓷的價(jià)值占比約16%，尤其是高端陶瓷零部件陶瓷加熱器和靜電卡盤均有約30億的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)空間。

半導(dǎo)體設(shè)備中常用的先進(jìn)陶瓷材料是氧化鋁、氮化鋁、碳化硅、氮化硅、氧化釔等，其中氧化鋁、碳化硅和氮化鋁使用較多。半導(dǎo)體設(shè)備由腔室內(nèi)和腔室外設(shè)備組成，陶瓷零部件大部分用在離晶圓更近的腔室內(nèi)，屬于關(guān)鍵零部件，主要應(yīng)用需求在刻蝕、薄膜沉積、光刻和氧化擴(kuò)散等設(shè)備，氧化鋁、氮化鋁等先進(jìn)陶瓷經(jīng)精密加工后制備的半導(dǎo)體設(shè)備用核心零部件，具有高強(qiáng)度、耐腐蝕、高精度等優(yōu)異性能。

中科金瓷：精密陶瓷零部件生產(chǎn)“新兵”

中科金瓷成立于2023年4月，總部位于寧波，公司專注于晶圓靜電吸盤、陶瓷加熱盤等半導(dǎo)體制程陶瓷新材料及相關(guān)元器件的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化，具有從原材料合成與處理、粉料制作、精密成型、燒結(jié)、精密和超高精度加工及功能化處理等特種陶瓷和陶瓷基電子元器件全流程技術(shù)與制造能力。

中科金瓷產(chǎn)品

中科金瓷創(chuàng)始人劉智謀博士畢業(yè)于中國(guó)科學(xué)院金屬研究所高性能陶瓷部，具備十余年的先進(jìn)陶瓷材料的研發(fā)和生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)。公司緊抓高端產(chǎn)品“國(guó)產(chǎn)替代”和核心技術(shù)“自主可控”的戰(zhàn)略機(jī)遇，致力于將中科金瓷建成為半導(dǎo)體制程精密陶瓷材料與部件領(lǐng)域的技術(shù)創(chuàng)新型企業(yè)。

目前中科金瓷主要產(chǎn)品包括各類陶瓷結(jié)構(gòu)件、以及晶圓靜電吸盤、陶瓷加熱盤等精密陶瓷零部件，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制程設(shè)備、光伏新能源等多個(gè)細(xì)分領(lǐng)域，目前多款國(guó)產(chǎn)替代產(chǎn)品已進(jìn)入國(guó)內(nèi)知名半導(dǎo)體設(shè)備廠驗(yàn)證階段。

來源：沈陽(yáng)產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院

（中國(guó)粉體網(wǎng)編輯整理/空青）

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