中國粉體網(wǎng)訊 在半導體產(chǎn)業(yè)鏈中,以先進陶瓷為代表的關鍵零部件是支撐半導體設備實現(xiàn)先進制造的重要載體,也是目前國產(chǎn)化替代的重要領域。同時,以碳化硅為代表的第三代半導體材料已展現(xiàn)出極其重要的戰(zhàn)略性應用價值,其中碳化硅單晶制備占據(jù)價值鏈最核心位置。4月25日,由中國粉體網(wǎng)主辦的“第三屆半導體行業(yè)用陶瓷材料技術研討會暨第三代半導體SiC晶體生長技術交流會”在江蘇蘇州隆重召開,會議期間,我們邀請到眾多專家學者做客“對話”欄目,圍繞先進陶瓷在半導體行業(yè)的應用研究及碳化硅單晶生長技術及產(chǎn)業(yè)化進行了訪談交流。本期為您分享的是潮州三環(huán)(集團)股份有限公司市場部副總監(jiān)兼精密陶瓷事業(yè)部副總經(jīng)理馬沖的專訪。
中國粉體網(wǎng):馬總,請問潮州三環(huán)在半導體用精密陶瓷領域做了哪些重點布局?
馬總:三環(huán)是一家專門做先進陶瓷的企業(yè),1970年成立。經(jīng)多年的技術積累和創(chuàng)新,公司高新技術產(chǎn)品已形成以移動終端陶瓷部件、光通信陶瓷部件、氧化鋁/氮化鋁陶瓷基板、陶瓷封裝基座、MLCC(多層片式陶瓷電容器)、 燃料電池電解質(zhì)隔膜片、接線端子、傳統(tǒng)電阻、電阻用陶瓷基體等為主導的多門類產(chǎn)品結構。
在半導體領域,我們目前有幾個主要的產(chǎn)品。一個是芯片制造過程中,有很多設備像刻蝕機、沉積的設備PVD、CVD等里面都會用到很多陶瓷零部件、結構件,三環(huán)有在做這類先進陶瓷。
三環(huán)精密陶瓷結構件
在下游的封測端,像長電、華天、通富,他們在晶圓打線的時候,要用到一個產(chǎn)品就是半導體用陶瓷劈刀,這個也是三環(huán)的主要產(chǎn)品之一,目前主要是這兩塊。
三環(huán)陶瓷劈刀
中國粉體網(wǎng):潮州三環(huán)在半導體用陶瓷件的國內(nèi)、國際市場的開發(fā)情況如何?
馬總:三環(huán)現(xiàn)在主要是做國產(chǎn)替代的工作,因此三環(huán)在半導體領域目前主要的精力是在國內(nèi)市場的開發(fā)上。關注國外先進的工藝,然后我們?nèi)h(huán)獨立研發(fā)出來,給客戶做支持。
中國粉體網(wǎng):與國際廠商相比,潮州三環(huán)在半導體用精密陶瓷方面有哪些突出的優(yōu)勢?
馬總:三環(huán)做先進陶瓷材料擁有著悠久的歷史,先進陶瓷材料在電子領域、半導體領域以及其它高端制造業(yè)領域都有著廣泛重要的應用。
與其他國際廠商相比,三環(huán)有以下突出的特點,首先,半導體領域、電子領域用的先進陶瓷的基礎原材料,三環(huán)都是自己開發(fā),自己來做的。特別是越高端的制造用的這些先進陶瓷,它的最重要核心之一就是在原材料方面,包括工藝的管控上面。三環(huán)在這個方面做了很大的努力,在原材料方面有一定的積累。
然后,我們有自己的測試分析設備。在研究開發(fā)方面,三環(huán)有幾個研究院,潮州研究院、成都研究院、德陽研究院、南充研究院,還有深圳研究院跟蘇州將要成立的研究院。我們每年的研發(fā)投入都將近五個億左右。目前我們幾個研究院整體的測試分析設備應該也有四個億左右。要做各種機理的分析,專業(yè)的測試分析設備這一點是很重要的。
我們?nèi)h(huán)曾先后完成多項國家863計劃和廣東省科技招標項目, 研究開發(fā)了與國際先進技術同步發(fā)展的固體燃料電池(SOFC)陶瓷電解質(zhì)隔膜片、 光通信連接器陶瓷插芯和套筒;研制了納米瓷粉、功能瓷料、電極漿料等多項基礎材料。
中國粉體網(wǎng):在電動車和新能源光伏這兩大應用市場,潮州三環(huán)有哪些精密陶瓷產(chǎn)品?
馬總:在光伏行業(yè),光伏逆變器封裝用氮化鋁基板,我們有在做,氮化鋁基板在散熱方面具有獨特的優(yōu)勢。
在新能源領域,三環(huán)專注于SOFC20年,從2004年開始做電解質(zhì)隔膜片,12年后做了單電池、電堆、模組及熱電聯(lián)供系統(tǒng),同步進行了SOEC的技術開發(fā);SOFC是將化學能轉為電能的發(fā)電技術,世界上效率最高,無污染的發(fā)電技術。
三環(huán)氮化鋁基板
中國粉體網(wǎng):感謝馬總接受我們的采訪。
(中國粉體網(wǎng)編輯整理/平安)
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