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        等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)-PECVD
        等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)-PECVD

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        面議

        型號(hào)

        等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)-PECVD

        品牌

        助研儀器

        產(chǎn)地

        安徽

        樣本

        暫無
        安徽助研儀器有限公司

        高級(jí)會(huì)員

        |

        第1年

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        名稱:等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)-PECVD

        型號(hào):ZYE-1200-PE

        簡(jiǎn)介:為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行,利用了等離子體的活性來促進(jìn)反應(yīng),因而這種CVD稱為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法(PECVD)。它是由500W射頻電源、1200℃單溫區(qū)管式爐、三通道質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成。此款PECVD系統(tǒng)用于生長(zhǎng)納米線、石墨烯或SiC薄膜等

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