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BRAVERY 3000 光調(diào)制反射晶圓檢測系統(tǒng)
參考價格
面議
型號
BRAVERY 3000 光調(diào)制反射晶圓檢測系統(tǒng)
品牌
微崇半導體
產(chǎn)地
北京
樣本
暫無
核心參數(shù)
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BRAVERY 3000
光調(diào)制反射晶圓檢測系統(tǒng)
BRAVERY 3000 是具有巨大市場價值的新型晶圓缺陷檢測設備,其采用光調(diào)制反射技術,可實現(xiàn)對晶圓的非接觸、無損傷、在線、快速、內(nèi)部檢測,精準診斷與定位晶圓缺陷,該產(chǎn)品對有/無圖案晶圓均適用,可填補當前國內(nèi)市場離子注入工藝非接觸檢測設備的國產(chǎn)化空白,實現(xiàn)晶圓注入質(zhì)量特性檢測量產(chǎn)化。
產(chǎn)品特點
非接觸非破壞性
有/無圖案晶圓皆適用
可作為在線檢測設備
無需測前與測后處理,超快檢測速度
軟件檢測操作簡單
主要應用
各種離子注入及退火工藝的質(zhì)量監(jiān)控
刻蝕等工藝對晶圓損傷的質(zhì)量監(jiān)控
產(chǎn)品優(yōu)勢
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