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產(chǎn)品圖片：

產(chǎn)品型號:

RSA-06

產(chǎn)品介紹：

1. Ceramic， Metal Free的熱場設(shè)計

2. 可以實現(xiàn)± 10℃以下（1500℃） 的面內(nèi)溫度分布。

3. 急加熱急冷卻的設(shè)計， 即使單片對應(yīng)整體速度也很快

4. 反應(yīng)爐和冷卻室是分開存在， 加熱部可以保持均一高溫。 （**申請）

5. 加熱部一直是高溫保持，綜合運轉(zhuǎn)成本會降低

6. 本裝置為高真空對應(yīng)（可以使用干泵+渦輪分子泵）

7. **可以對應(yīng)2000℃。

8. 我們將通過充分利用仿真軟件來建議**的熱場

基本規(guī)格（SPEC）