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  產(chǎn)品特征

高產(chǎn)率

SSB320和SSB380機(jī)型可提供53.5mm×33mm超大曝光視場，并配置了高速傳輸系統(tǒng)、高速高精度運(yùn)動臺系統(tǒng)和高照度照明系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)率，顯著降低客戶擁有成本。

高分辨率

SSB300系列光刻機(jī)提供多種投影物鏡配置，分辨率可達(dá)到0.8~2μm，并具有大焦深和高線寬均勻性等特點(diǎn)，在大規(guī)模量產(chǎn)中有效提升產(chǎn)品良率。

高精度套刻

SSB300系列光刻機(jī)擁有高精度MVS對準(zhǔn)系統(tǒng)、高精度工件臺定位系統(tǒng)和低畸變投影物鏡，保證了高精度套刻性能。其中對準(zhǔn)系統(tǒng)支持特征圖形標(biāo)記和光柵標(biāo)記，并可選配紅外或可見光背面對準(zhǔn)方式，滿足客制化需求。

工藝適應(yīng)性強(qiáng)

采用獨(dú)特的在線Mapping技術(shù)，快速準(zhǔn)確地?cái)M合出基底面型，可有效增大工藝窗口。提供選配可變狹縫，可實(shí)現(xiàn)一塊掩模分為多個(gè)區(qū)域曝光，降低工藝研發(fā)費(fèi)用，且與Aligner匹配時(shí)不增加額外芯片損失。